Исследование электрофизических и структурных параметров YBCO-пленок, выращенных за несколько ростовых циклов
Востоков Н.В.1, Дроздов М.Н.1, Дроздов Ю.Н.1, Мастеров Д.В.1, Павлов С.А.1, Парафин А.Е.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: masterov@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 27 января 2011 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2011 г.
Исследованы изменения электрофизических и структурных характеристик эпитаксиальных пленок YBCO в процессе поэтапного увеличения их толщины до 1 mum. Показано, что высокое качество получаемых пленок не ухудшается при перерывах в процессе роста, связанных с формированием рисунка на образце и измерением электрофизических характеристик пленки в жидком азоте. Это показывает возможность использования в процессе напыления пленок YBCO промежуточных этапов литографии с целью формирования неоднородных по толщине структур.
- Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е., Дроздов Ю.Н. // ЖТФ. 2007. Т. 77. В. 10. С. 109
- Cukauskas E.J., Allen L.H., Sherrill G.K. et al. // J. Appl. Phys. 1993. V. 74. N 11. P. 6780.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.