Вышедшие номера
Влияние термообработки на структуру пленок диоксида титана
Комлев А.Е.1,2, Лапшин А.Е.1,2, Магдысюк О.В.1,2, Плотников В.В.1,2, Шаповалов В.И.1,2, Шутова Н.С.1,2
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Институт химии силикатов им. И.В. Гребенщикова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Email: vishapovalov@mail.ru
Поступила в редакцию: 29 марта 2010 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2010 г.

Приведены результаты исследования развития при изотермическом отжиге нанокристаллических фаз в пленках диоксида титана. В пленках, имеющих после осаждения разную кристаллическую структуру, термообработка на воздухе и в вакууме в интервале температур 500-700oC приводит к существенно отличающимся результатам.