"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Новый подход в метрологии в нанообласти
Максимов С.К.1, Максимов К.С.1
1Московский государственный институт электронной техники АНО "Аналитика и высокие технологии"
Email: maksimov_sk@comtv.ru
Поступила в редакцию: 19 мая 2010 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2010 г.

Даны представления о пофракционном методе контроля в нанообласти и описана ключевая стадия метода, связанная с определением формы и размеров нанообъектов по РЭМ изображениям, полученным при разных сходимостях электронного зонда.
  1. Dresselhaus M.S., Lin Yu.-M., Rabin O. et al. Nanowires. In Springer Handbook of Nanotechology. Ed. B. Bharat. Springer 2007. P. 113--160
  2. Sayes C.M., Warheit D.B. // International J. of Nanotechnology. 2008. V. 5. P. 15--29
  3. Bawendi M.G., Jensen K.F. USA Patent No 6,774, 362. Invention Control (2004)
  4. Nanotechnology: Consequences for Human Health and Environment / Eds Hester R.E., Harrison R.M. RSC Publishing. 2007. P. 149
  5. Максимов С.К., Максимов К.С. // Российские нанотехнологии. 2009. Т. 4. N 3--4. С. 59--70
  6. Максимов С.К., Максимов К.С. // Нанотехника. 2009. Т. 18. С. 5--12
  7. Максимов С.К., Максимов К.С. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. В. 5. С. 58--65
  8. Goldstein J., Newbury D., Joy D. et al. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis. (Kluwer Acad. \& Plenum Publ., N. Y., USA, 2003)
  9. Liu J. High resolution scanning electron microscopy // Handbook of Microscopy for Nanotecnology / Eds Yao N., Wang Zh.L. (USA, Kluwer Acad. Publ. 2005). P. 325--360
  10. Максимов К.С. // Изв. вузов. Электроника. 2009. N 2. С. 69--73
  11. Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А. // Труды Ин-та общей физики РАН им. А.М. Прохорова. 2006. Т. 62. С. 3--12
  12. Dingley D. // J. of Microscopy. 2004. V. 213. P. 214--224
  13. Kawasaki T., Yoshida T., Ose Y., Todokoro H. USA Patent No 7,199,365 Electron beam apparatus with aberration corrector (2007)
  14. Kitsuki, Aoki K., Sato M. USA Patent. No 7,442,929 Scanning electron microscope (2008)
  15. Bhushan B., Marti O. Scanning Probe Microscopy --- Principle of Operation. Instrumentation and Probes, in Springer Handbook of Nanotechnology. Ed. B. Bharat. Springer 2007. P. 239--278.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.