"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Изучение дефектной структуры эпитаксиальных слоев GaN на основе анализа пиков трехволновой дифракции рентгеновских лучей
Кютт Р.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: r.kyutt@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 25 февраля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2010 г.

Проведены измерения многоволновой дифракции рентгеновских лучей в эпитаксиальных пленках GaN с разной плотностью дислокаций. Использовалась схема Реннингера с первичным запрещенным отражением 0001. Проанализирована угловая ширина трехволновых дифракционных пиков как в направлении varphi-сканирования (вращение вокруг нормали к поверхности), так и theta-моды сканирования (вращение около брэгговского угла). Обнаружено расщепление трехволновых пиков Реннингера, обусловленное крупноблочной структурой слоев. Показана высокая чувствительность полуширины пиков theta-моды для некоторых трехволновых комбинаций к плотности дислокаций.
  • Ratnikov N.N., Kyutt R.N., Shubina T.V., Pashkova T., Monemar B. // J. Phys. D. Appl. Phys. 2001. V. 34. P. A30
  • Sricant V., Speck J.S., Clarke D.R. // J. Appl. Phys. 1997. V. 82. P. 4286
  • Renninger M. // Z. Phys. 1937. V. 106. P. 141
  • Chang S.L. // Appl. Phys. Lett. 1980. V. 37. P. 819
  • Sasaki J.M., Cardoso L.P., Campos C., Roberts K.J., Clark G.F., Pantos E., Sacilotti M.A. // J. Appl. Phys. 1996. V. 79. P. 3492
  • Freitas R.O., Lamas T.E., Quivy A.A., Morelhao S.L. // Phys. Stat. Sol. (a). 2007. V. 204. P. 2548
  • Blasing J., Krost A. // Phys. Stat. Sol. 2004. V. 201. P. 17
  • Blassing J., Krost A., Hertkorn J. et al. // J. Appl. Phys. 2009. V. 105. P. 033 504
  • Ahe M. von der, Cho Y.S., Kaluza N. et al. // XTOP 2008. 9th Biennial Conference on High Resolution X-ray Diffraction and Imaging. September 15-19, 2008. Linz, Austria. Abstracts. P. 96
  • Rossmanith E. // Acta Cryst. 2006. V. A62. P. 174
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.