"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Легирование структурно-неоднородных эпитаксиальных слоев фосфида галлия. Диффузионное перераспределение цинка
Панютин Е.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Eugeny.Panyutin@pop.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 29 января 2009 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.

Приведены результаты компьютерного моделирования распределений цинка, которые устанавливаются в процессе его диффузии, сопутствующей легированию в ходе эпитаксиального осаждения фосфида галлия. Внутреннее перераспределение вводимого цинка, обусловленное присутствием структурного макродефекта, в частности винтовой дислокации, трактуется в рамках диссоциативной модели межузельно-узловой диффузии, предполагающей существование ионов цинка в двух состояниях с различной подвижностью, активно взаимодействующих с вакансиями галлия. Результаты анализа решений нелинейной граничной задачи, демонстрирующие существование резко неоднородных распределений концентраций ионов цинка, позволяют объяснить ряд экспериментально наблюдаемых аномалий обратного тока GaP-p-n-переходов. PACS: 85.40.Ry, 81.15.Kk, 66.30.Dn, 61.72.uj, 61.72sh, 61.72.Dd
  1. Chaffin R.J., Dawson L.R. // Proc. IEEE Conf. On High-Temperature Electronics (Tusson, 1981). New York, 1981. P. 39--42
  2. Thomas E.Z., Roger J.C., Dawson L.R. // Proc. IEEE. V. IE-29. N 2. May 1982. P. 129--135
  3. Zipperian T.E., Thomas E., Dawson L.R. // IEEE Tr. El. Devices. 1982. V. 29. N 10. P. 1690
  4. Жиляев Ю.В., Панютин Е.А., Федоров Л.М. // Письма в ЖТФ. 1994. В. 20. С. 26
  5. Жиляев Ю.В., Панютин Е.А., Федоров Л.М. // Письма в ЖТФ. 2008. В. 20. С. 80--87
  6. Трушин Ю.В. // Радиационные процессы в многокомпонентных материалах. СПб., 2002. 384 с
  7. Longini R.L. // Sol. St. Electron. 1962. N 5. P. 127
  8. Малкович Р.Ш. // Математика диффузии в полупроводниках. СПб., 1999. 390 с
  9. Григорьев Н.Н., Кудыкина Т.А. // ФТП. 1997. Т. 31. N 7. С. 697
  10. Кейзи Х. // Атомная диффузия в полупроводниках. Сб. статей / Под ред. Д. Шоу. М.: Мир, 1975. 684 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.