Формирование рельефа с субмикронным разрешением при поляризации стекол и стеклометаллических нанокомпозитов
Брунков П.Н., Мелехин В.Г., Гончаров В.В., Липовский А.А., Петров М.И.
Email: lipovskii@mail.ru
Выставление онлайн: 19 ноября 2008 г.
Формирование пространственного рельефа, воспроизводящего рельеф анодного электрода, при термической поляризации стекла и стеклометаллического нанокомпозита в сильном электрическом поле (thermal poling) изучено методом атомно-силовой микроскопии. В качестве анода были использованы квадратная сетка и решетка с рельефом прямоугольной формы глубиной 120 nm, шириной полоски 0.5 mum и периодом 1 mum, изготовленные методом электронно-лучевой литографии и ионного травления на поверхности кремниевой пластины n-типа. Глубина рельефа, сформированного на поверхности изученных образцов, составляла от 5 до 15 nm в зависимости от условий эксперимента. Обсуждается механизм формирования рельефа. PACS: 66.30.hh, 66.30.Qa, 68.35.bj, 68.35.Ct, 68.37.Ps
- Myers R.A., Mukherjee N., Brueck S.R. // Opt. Lett. 1991. V. 16. P. 1732--1734
- Qiu M., Pi F., Orriols G., Bibiche M. // J. Opt. Soc. Am. 1998. V. 15. N 4. P. 1362--1365
- Garsia F.C., Caralho I.C.S., Hering E., Margulis W., Lesche B. // Appl. Phys. Lett. 1998. V. 72. N 25. P. 3252--3254
- De Vekey R.C., Majumdar A.J. // Nature. 1970. V 225. P. 172--173
- An H., Fleming S. // J. Opt. Soc. Am. B. 2006. V. 23. N 11. P. 2303--2309
- Lepienski C.M., Giacometti J.A., Leal Ferreira G.F., Freire F.L., jr., Achete C.A. // J. Non-Cryst. Solids. 1993. V. 159. N 3. P. 204--212
- Izava T., Nakagome H. // Appl. Phys. Lett. 1972. V. 21. N 12. P. 584--586
- Margulis W., Laurell F. // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 71. N 17. P. 2418--2420
- Ramaswamy R.V., Srivastava R. // J. Lightwave Technol. 1988. V. 6. N 6. P. 984--1002
- Takagi H., Shin-ichi Miyazava, Takahashi M., Maeda R. // Appl. Phys. Express. 2008. V. 1. P. 024003
- Kaneko T. // J. Mater. Sci. Lett. 1986. V. 5. P. 1011--1012
- Tsusumi K., Hirai H., Yuba Y. // Electron. Lett. 1986. V. 22. N 24. P. 1299--1300
- Miliou A.N., Srivastava R., Ramaswamy R.V. // Appl. Opt. 1991. V. 30. N 6. P. 674--681
- Valles N.-Villarreal N., Villalobos A., Marquez H. // J. Lightwave Technol. 1999. V. 17. N 4. P. 606--612
- Oven R. // J. Appl. Phys. 2006. V. 100. P. 053513
- Deparis O., Kazansky P.G., Abdolvand A. et al. // Appl. Phys. Lett. 2004. V. 85. N 6. P. 872--874
- Липовский А.А., Мелехин В.Г., Петриков В.Д. // Письма в ЖТФ. 2006. Т. 32. В. 6. С. 89--94. (Eng. Transl.: Lipovskii A.A., Melehin V.G., Petrikov V.D. // Tech. Phys. Lett. 2006. V. 32. N 3. P. 275--277)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук