Вышедшие номера
Исследование неоднородности фронта травления макропор в тонких пластинах n-Si
Нечитайлов А.А.1, Астрова Е.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: aan.shuv@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 16 ноября 2006 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.

Установлена причина появления куполообразного фронта травления макропор в тонких образцах кремния при фотоэлектрохимическом травлении в ячейке с кольцевым анодным контактом. Показано, что она связана с радиальным падением напряжения в подложке и уменьшением плотности тока в центральной части образца. Исследовано влияние внешнего напряжения на форму фронта. Предлагаются способы регистрировать возникновение неоднородности в процессе травления по изменению зависимости интенсивности подсветки образца от времени и изменению вольт-амперной характеристики. Обсуждается эффективность различных мер, позволяющих получить однородные по площади глубокие макропоры. PACS: 82.45.Vp, 81.05.Rm, 82.47.Nj