Установлена причина появления куполообразного фронта травления макропор в тонких образцах кремния при фотоэлектрохимическом травлении в ячейке с кольцевым анодным контактом. Показано, что она связана с радиальным падением напряжения в подложке и уменьшением плотности тока в центральной части образца. Исследовано влияние внешнего напряжения на форму фронта. Предлагаются способы регистрировать возникновение неоднородности в процессе травления по изменению зависимости интенсивности подсветки образца от времени и изменению вольт-амперной характеристики. Обсуждается эффективность различных мер, позволяющих получить однородные по площади глубокие макропоры. PACS: 82.45.Vp, 81.05.Rm, 82.47.Nj

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.