Влияние электрического поля на рост наноуглеродных структур из газовой фазы
Захидов Ал.А.1, Клименко О.А.1, Попов И.А.1, Золотухин А.А.1, Образцов А.Н.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: obraz@polly.phys.msu.ru
Поступила в редакцию: 29 ноября 2006 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2007 г.
С целью определения величины электрического поля у поверхности подложки в процессе роста углеродных наноструктур построена математическая модель плазмы газового разряда постоянного тока. Численное решение полученных уравнений производится с учетом граничных условий и параметров, определенных из эксперимента. Сравнение полученных решений с экспериментальными данными показывает адекватность построенной математической модели, в рамках которой получены распределения величины электрического поля, а также концентрации электронов и ионов в области, примыкающей к поверхности подложки. Произведенная оценка показывает, что при достижении наноуглеродными структурами критического размера около 30 nm величина электрического поля у поверхности оказывается достаточной для возникновения их направленного роста вдоль поля. PACS: 52.65.Kj, 52.77.Dq, 81.15.Jj
- Fan S., Chapline M.G., Franklin N.R., Tombler Th.W., Cassell A.M., Dai H. // Science. 1999. V. 283. P. 512--514
- Образцов А.Н., Павловский И.Ю., Волков А.П. // ЖТФ. 2001. Т. 127. С. 89--95
- Золотухин А.А., Образцов А.Н., Волков А.П., Устинов А.О. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 124. С. 58--63
- Михеев Г.М., Зонов Р.Г., Образцов А.Н., Свирко Ю.П. // Письма в ЖТФ. 2004. Т. 30. С. 88--94
- Райзер Ю.П. // Физика газового разряда. М.: Наука, 1992. 535 с
- Mason E.A., McDaniel E.W. // Transport Properties of Ions in Gas. New York: John Wiley \& Sons, 1988. 560 p
- Mason E.A., Vanderslice J.T. // Phys. Rev. 1959. V. 114. P. 497--504
- Hagelaar G.J.M., De Hoog F.J., Kroesen G.M.W. // Phys. Rev. E. 2000. V. 62. P. 1452--1461
- Ellis H.W., Pai R.Y., McDaniel E.W., Mason A., Viehland L.A. // Atomic Data and Nuclear Data Tables. 1976. V. 17. P. 177--210
- BOLSIG Boltzmann solver for the SIGLO-series 1.0 // CPA. Toulouse \& Kinema Sotfware, 1996
- Pitchford L.C., O'Neil S.V., Rumble J.R. // Phys. Rev. A. 1981. V. 23. P. 294--307
- Van Der Donk P., Yousif F.B., Mitchell J.B.A., Hickman A.P. // Phys. Rev. Lett. 1991. V. 67. P. 42--45
- Hagelaar G.J.M., de Hoog F.J., Kroesen G.M.W. // Phys. Rev. E. 2000. V. 62. P. 1452--1490
- FEMLAB reference manual. COMSOL AB. Stockholm, 2004
- Chhowalla M., Teo K.B.K., Ducati C., Rupesingle N.L., Amaratunga G.A.J., Ferrari A.C., Roy D., Robertson J., Milne W.I. // J. Appl. Phys. 2001. V. 90. P. 5308--5317
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.