Перенос волнообразного нанорельефа на поверхность различных материалов
Кибалов Д.С.1, Журавлев И.В.1, Лепшин П.А.1, Смирнов В.К.1
1Институт микроэлектроники и информатики РАН, Ярославль
Email: IBTec@rambler.ru
Поступила в редакцию: 30 мая 2003 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2003 г.
Волнообразный нанорельеф формируется на поверхности аморфного кремния при бомбардировке ионами азота. Исследован перенос нанорельефа с пленок аморфного кремния за счет ионного распыления на поверхность ряда материалов: стекла, полиимида, фианита и арсенида галлия. Установлено, что геометрия нанорельефа не изменяется при переносе в исследованные материалы на глубину, равную амплитуде нанорельефа в аморфном кремнии. Эволюция амплитуды нанорельефа при дальнейшем распылении определяется не только процессом распыления, характеризуемого коэффициентом распыления, но требует учета и других процессов на поверхности, сопровождающих ионную бомбардировку.
- Carter G., Vishnyakov V., Nobes M.J. // Nucl. Instrum. Methods B. 1996. V. 115. P. 440--445
- Smirnov V.K., Kibalov D.S., Krivelevich S.A. et al. // Nucl. Instrum. Methods B. 1999. V. 147. P. 310--315
- Bachurin V.I., Lepshin P.A., Smirnov V.K. // Vacuum. 2000. V. 56. P. 241--245
- Журавлев И.В., Смирнова Г.Ф., Кибалов Д.С. и др. // Поверхность. 2002. N 10. С. 100--104
- Бочкарев В.Ф., Наумов В.В., Трушин О.С. и др. // Тр. ФТИАН. 1995. Т. 9. С. 25--30
- Karen A., Nakagawa Y., Hatada M. et al. // Surf. Interf. Anal. 1995. V. 23. P. 506--513
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук