Вышедшие номера
Влияние облучения электронами на диэлектрические свойства сегнетоэлектрических пленок BSTO
Балакин В.А.1, Дедык А.И.1, Карманенко С.Ф.1, Павловская М.В.1
1С.-Петербургский государственный электротехнический университет
Email: maryVP@mail.ru
Поступила в редакцию: 8 мая 2003 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2003 г.

Представлены экспериментальные результаты исследования влияния облучения потоком электронов с энергией 200 eV на емкость, тангенс угла диэлектрических потерь и управляемость планарных конденсаторных структур на основе сегнетоэлектрических пленок (Ba,Sr)TiO3 (BSTO). Впервые для пленочных образцов набюдался эффект существенного уменьшения уровня диэлектрических потерь при дозах облучения 1014 и 1015 cm-2, сопровождаемого незначительным снижением емкости. Обсуждаются механизмы воздействия облучения и влияние дефектов на свойства пленок.