Изучение влияния пористой подложки SiO2 на свойства пленок Al2O3 с помощью рентгеновской рефлектометрии
Конашук А.С.1, Соколов А.А.1, Дрозд В.Е.1, Романов А.А.1, Филатова Е.О.1
1Санкт-Петербургский государственный университет
Email: Leshook@yandex.ru
Поступила в редакцию: 30 ноября 2011 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2012 г.
Методом рентгеновской спектроскопии отражения изучено строение пленок Al2O3 различной толщины, синтезированных техникой молекулярного наслаивания на пористом SiO2. Установлено, что синтезированные пленки являются аморфными, причем соотношение количества тетраэдрических и октаэдрических координаций атомов алюминия в пленке зависит от ее толщины. Предположительно более толстые пленки оксида алюминия содержат больше тетраэдрических координаций.
- Maex K., Baklanov M.R., Shamiryan D. et al. // J. Appl. Phys. 2003. V. 93. P. 8793
- Jain A., Rogojevic S., Ponoth S. et al. // Thin Solid Films. 2001. V. 398--399. P. 513
- Family F., Viscek T. // J. Phys. A. 1985. V. 18. P. L75
- Barabasi A.L., Stanley H.E. // Fractal concepts in surface growth. Cambridge University Press, 1995
- http://www.bessy.de/bit/upload/D\_08\_1B2.pdf
- http://www.bessy.de/bit/upload/reflectometer.pdf
- Filatova E.O., Luk'anov V.A., Barchewitzet R. et al. // J. Phys. Condens. Matter. 1999. V. 11. P. 3355
- Balzarotti A., Bianconi A., Burattini E. et al. // Phys. Stat. Sol. (B). 1974. V. 63. P. 77
- Filatova E.O., Taracheva E.Yu., Sokolov A.A. et al. // X-Ray Spectrom. 2006. V. 35. P. 359
- Брытов И.А., Ромащенко Ю.Н. // ФТТ. 1978. Т. 20. С. 664
- Фомичев В.А. // ФТТ. 1966. Т. 8. С. 2892
- Wyckoff R.W.G. // Crystal Structures. 1964. 2nd ed. P. 274
- Ching W.Y., Ouyang L., Rulis P. et al. // Phys. Rev. B. 2008. V. 78. P. 014 106
- Gutierrez G., Johansson B. // Phys. Rev. B. 2002. V. 65. P. 104 202
- Брытов И.А., Ромащенко Ю.Н. // Геохимия. 1977. B. 6
- Kimoto K., Matsu Y., Nabatame T. et al. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 83. P. 24
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук