Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока
Линник С.А.1, Гайдайчук А.В.1
1Институт физики высоких технологий Национального исследовательского Томского политехнического университета
Email: stepan_lin@mail.ru
Поступила в редакцию: 15 августа 2011 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2012 г.
Приведены результаты экспериментов по осаждению поликристаллических алмазных пленок на подложки из Si, Ti, Mo с использованием специально разработанной разрядной системы на тлеющем разряде переменного тока. С помощью атомно-силовой микроскопии и рентгеновского анализа определены фазовый состав и морфология полученных пленок. Установлено, что полученные алмазные пленки имеют высокую чистоту и кристалличность. Отсутствуют включения неалмазной фазы углерода. Скорость роста алмазной пленки 6-7 mum/h.
- Polushkin V.M., Polyakov S.N., Rakhimov A.T., Suetin N.V., Timofeyev M.A., Tugarev V.A. // Diamond Rel. Mater. 1994. V. 3. P. 531
- Lee J.-K., Eun K.Y., Baik Y.-J., Cheon H.J., Rhyu J.W., Shin T.J., Pack J.-W. // Diamond Rel. Mater. 2002. V. 11. P. 463
- Heiman A., Gouzman I., Christiansen S.H., Strunk H.P., Hoffman A. // Diamond Rel. Mater. 2000. V. 9. P. 866
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук