Самосборка островковых систем аморфного кремния с помощью полевой селективности
Косминская Ю.А.1, Мокренко А.А.1, Перекрестов В.И.1
1Сумский государственный университет, Сумы, Украина
Email: perv@phe.sumdu.edu.ua
Поступила в редакцию: 7 февраля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2011 г.
Методом растровой электронной микроскопии изучены структурно-морфологические характеристики поверхности аморфных конденсатов Si. Были обнаружены процессы самоорганизации одинаковых форм и размеров осровков. Создана математическая модель, которая отчасти объясняет самоорганизацию островковых систем в условиях предельно слабых пересыщений, при наличии вблизи ростовой поверхности электрического поля и осаждении ионизированных атомов Si.
- Perekrestov V.I., Olemskoi A.I., Kosminska Yu.O., Mokrenko A.A. // Phys. Lett. A. 2009. V. 373. P. 3386
- Перекрестов В.И., Кравченко С.Н // ПТЭ. 2002. N 3. C. 123
- Чернов А.А., Гиваргизов Е.И., Багдасаров Х.С., Кузнецов В.А., Демьянец Л.М. // Современная кристаллография. Образование кристаллов. Т. 3. М.: Наука, 1980
- Майссел Л., Гленг P. Технология тонких пленок. М.: Сов. радио, 1977
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.