Влияние мощности, переносимой атомарным пучком, на формирование границы раздела Fe/Si (111) 7x7
Плюснин Н.И.1, Ильященко В.М.1, Крылов С.В.1, Китань С.А.1
1Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, Владивосток Владивостокский государственный университет экономики и сервиса
Email: plusnin@iacp.dvo.ru
Поступила в редакцию: 16 ноября 2006 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2007 г.
Методом электронной оже-спектроскопии, спектроскопии характеристических потерь энергии электронов и дифракции медленных электронов исследованы начальные стадии роста и взаимодействие железа с монокристаллической подложкой кремния. Исследования проводили в процессе осаждения железа из двух молекулярно-лучевых источников со скоростями осаждения 0.01 и 6 nm/min и соответственно энергиями потока 0.14 и 0.18 eV. Обнаружено, что в первом случае происходит послойный рост железа, а во втором - послойный рост моносилицида железа. Полученные результаты показывают существенное влияние мощности энергетического потока молекулярного пучка на образование силицида на границе раздела пленка-подложка в процессе ее формирования. PACS: 34.50.Dy, 81.15.Hi
- Brillson L.J. // Surface Science Report. 1982. V. 2. N 2. P. 123
- Ту К., Мейер Дж. // Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / Под ред. Поута Дж., Ту К. и Мейера Дж. М.: Мир, 1982. С. 576
- Nicolet M.-A., Lau S.S. // LVSI Electronics: Microstructure Science / Ed. by Einspruch N. New York: Academic Press, 1983. V. 6. P. 300
- Reader A.H., van Ommen A.H., Weijs P.J.W., Wolters R.A.M., Oostra D.J. // Rep. Prog. Phys. 1992. V. 56. P. 1397--1467
- Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Малыгин Д.Е., Соловьев С.М., Вялых Д.В., Молодцов С.Л. // ЖТФ. 2005. Т. 75. N 9. С. 106--110
- Плюснин Н.И., Миленин А.П. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1997. N 3. С. 36--44
- Plusnin N.I., Iliyashenko B.M., Milenin A.P. // Phys. Low-Dim. Struct. 2002. V. 11/12. P. 39--48
- Plusnin N.I., Milenin A.P., Iliyashenko B.M., Lifshits V.G. // Phys. Low-Dim. Struct. 2002. V. 9/10. P. 129--146
- Ruhrnschopf K., Borgmann D., Wedler G. // Thin Solid Films. 1996. V. 280. P. 171--177
- Gallego J.M., Garcia J.M., Alvarez J., Miranda R. // Phys. Rev. B. 1992. V. 46. P. 13 339--13 344
- Alvares J., Vazquez de Parga A.L., Hinarejios J.J., de la Figuera J., Michel E.G., Ocal C., Miranda R. // Phys. Rev. B. 1993. V. 47. P. 16 048--16 051
- Klasges R., Carbone C., Eberhardt W., Pampuch C., Rader O., Kachel T., Gudat W. // Phys. Rev. B. 1997. V. 56. P. 10 801--10 804
- Wei W., Kutschera M., Starke U., Mozaffari M., Reshoft K., Kohler U., Heinz K. // Surface Science. 1997. V. 337--379. P. 861--865
- Il'yashenko V.M., Kitan' S.A., Krylov S.V., Plusnin N.I. // Phys. Low-Dim. Struct. 2006. V. 2. P. 42--46
- Knowles M.P., Leone S.R. // Chemical Physics Letters. 1996. V. 268. P. 217--222
- Zeng-ju T., Satoko C., Ohnishi S. // Physical Review B. 1987. V. 36. P. 6390
- Satoko C., Ohnishi S., Zeng-ju T. // Applied Surface Science. 1988. V. 33/34. P. 277
- Ma L., Wang J., Jijun Zhao, Wang G. // Chemical Physical Letters. 2005. V. 414. P. 500--504
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
