Относительная рентгеновская рефлектометрия дискретных слоистых структур
Турьянский А.Г.1, Апрелов С.А.1, Герасименко Н.Н.1, Пиршин И.В.1, Сенков В.М.1
1Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Москва Московский институт электронной техники, Зеленоград Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва
Email: tour@sci.lebedev.ru
Поступила в редакцию: 22 сентября 2006 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2007 г.
Методом относительной рентгеновской рефлектометрии впервые измерены параметры дискретной слоистой структуры. Описана рентгенооптическая схема измерения с использованием двух длин волн, обоснованы условия применения метода и алгоритм обработки данных. Приведены результаты измерения тест-объекта, полученного магнетронным напылением Ta на подложку Si через маску с периодически расположенными окнами. Разработанная схема может быть использована в полупроводниковой технологии для контроля параметров приборных структур наноразмерной толщины. PACS: 61.10.Kw, 78.20.Ci, 07.60.Hv, 42.25.Gy, 68.55.-a.
- Stoev K., Sakurai K. // The Rigaku Journal. 1997. V. 14. N 2. P. 22
- Петраков А.П. // ЖТФ. 2003. Т. 73. В. 4. С. 129
- Njeh A., Wieder T., Fuess H. // Surf. Interface Anal. 2002. V. 33. P. 626
- Турьянский А.Г., Пиршин И.В. Патент РФ N 2166184, G 01B 15/08 (2001)
- Турьянский А.Г., Пиршин И.В. // ПТЭ. 1998. N 5. С. 118
- Турьянский А.Г., Виноградов А.В., Пиршин И.В. // ПТЭ. 1999. N 1. С. 105
- Dyson N.A. // X-Rays in Atomic and Nuclear Physics. London: Longman Group Ltd, 1973
- Parratt L.G. // Phys. Rev. 1954. V. 95. N 2. P. 359
- Бернинг П.Х. // Теория и методы расчета оптических свойств тонких пленок. Сб. Физика тонких пленок. М.: Мир. 1967. Т. 1. С. 91. [ Berning P.H. Theory and calculations of optical thin films in Physics of Thin Films. V. 1. G. Hass Ed. New York: Academic Press, 1963]
- Wormington M., Panaccione C., Matney K.M., Bowen D.K. // Characterization of structures from X-ray scattering data using genetic algorithms. Phil. Trans. R. Soc. Lond. A. 1999. V. 357. P. 2827
- Lange's Handbook of Chemistry. McGraw-Hill, Inc., 1979. 12th Ed
- Борн М., Вольф Э. // Основы оптики. М.: Наука. 1973. [Born M., Volf E. Principles of Optics Electromagnetic Theory of Propagation, Interference and Diffraction of Light/2nd ed. by Max Born, Emil Wolf. New York, NY: Pergamon Press, 1964]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук