"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Безыскровой разряд в плотных газах с предыонизацией пучком низкоэнергичных электронов барьерного открытого разряда
Сорокин А.Р.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: IFP@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 2 ноября 2005 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2006 г.

Продемонстрирована высокая устойчивость безыскрового разряда с предыонизацией пучком электронов, фотоподсветкой и электронами плазмы барьерного открытого разряда (в нем сетчатый электрод, служащий одновременно катодом для основного разряда, располагается непосредственно на поверхности диэлектрика). В смеси газов для ArF-лазера давлением 2.5 atm получен энерговклад 2.5 J/cm3 за 12 ns мощностью 210 MW/cm3. Результаты работы представляют интерес для разработки технологических эксимерных лазеров с высокой частотой следования импульсов. PACS: 52.80.Sm, 42.55.Lt
  1. Андраманов А.В., Кабаев С.А., Лажинцев Б.В. и др. // Квантовая электроника. 2005. Т. 35. N 4. С. 311--315
  2. Сорокин А.Р. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. В. 9. С. 42--51
  3. La Verne Jay A., Mozumder A. // J. Phys. Chem. 1985. V. 89. N 20. P. 4219--4225
  4. Sze R.C., // J. Appl. Phys. 1983. V. 54. N 3. P. 1224--1227

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.