"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Экономичный метод литографического создания рельефа из гибридного SiO2-TiO2 золь-гельного стекла на изогнутой поверхности
Zhao Fuhua1, Xie Yongjun1, Xu Sulian1, Liu Gang1, He Shiping1, Fu Shaojun1
1National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China, Hefei, China College of Material and Chemistry Technology, Changchun University of Science and Technology, Chan gchun, China Department of Modern Mechanics, University of Science and Technology of China, Hefei, China
Email: xie_yong_jun@yahoo.com
Поступила в редакцию: 7 июля 2005 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2006 г.

Продемонстрирована экономичная технология создания оптических структур из гибридного золь-гельного стекла методом мягкой литографии. Технология позволяет исключить этап реактивно-ионного травления, трудно реализуемого в настоящее время на искривленной поверхности. Мягкая литография позволяет упростить и удешевить создание высококачественных структур из золь-гельного стекла, нанесенного на изогнутую поверхность. В результате замены слоя эпоксидной смолы слоем золь-геля время жизни шаблона значительно увеличивается при экспонировании вакуумным ультрафиолетом. PACS: 85.40.Hp, 81.05.Kf
  1. Ayras P., Rantala J.T., Honkanen S., Memdes S.B., Peyghambarian N. // Opt. Commun. 1999. V. 162. P. 215--218
  2. Xie Y., Lu Z., Li F., Zhao J., Weng Z. // Opt. Express. 2002. V. 10. P. 1043--1047
  3. Xie Y., Lu Z., Li F. // Opt. Express. 2003. V. 11. P. 992--995
  4. Xie Y., Lu Z., Li F. // Opt. Express. 2003. V. 11. P. 975--979
  5. Xie Y., Lu Z., Li F. // Opt. Express. 2004. V. 12. P. 1810--1814
  6. Najafi S.C., Touam Ti., Sara R., Andrews M.P., Farada M.A. // J. Lightware Technol. 1998. V. 16. P. 1640--1646
  7. Coudry, Etienne P., Moreau Y., Porque J., Najafi S.I. // Opt. Commun. 1997. V. 143. P. 199--202
  8. Ayras P., Rantals J.T., Honkanen S., Memdes S.B., Peyghambarian N. // Opt. Commun. 1999. V. 162. P. 215--218
  9. Kintaka K., Nishii J., Tohge N. // Appl. Opt. 2000. V. 39. P. 489--493
  10. Rantala J.T., Penner R.S., Honkanen S., Vahakangas J., Fallahi M., Peyghambarian N. // Thin Solid Films 1999. V. 345. P. 185--187
  11. Kateri E. Paul, Mara Prentiss, Geogre M. Whitesides // Advanced functional materical. 2003. V. 13. P. 259--263
  12. Xie Y., Xu X., Hong Y., Liu Y., Fu S., He S., Jin B. // Opt. Express. 2004. V. 12. P. 3894--3899

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.