"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние имплантации ионов фосфора на кристаллизацию пленок аморфного кремния при воздействии импульсов излучения эксимерного лазера
Ефремов М.Д.1,2, Володин В.А.1,2, Аржанникова С.А.1,2, Кочубей С.А.1,2, Уласюк В.Н.1,2
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2ЗАО "ЭЛТАН", Фрязино
Email: volodin@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 10 августа 2004 г.
Выставление онлайн: 20 января 2005 г.

Исследовалось влияние фосфора на кристаллизацию тонких аморфных пленок кремния при воздействии наносекундных импульсов излучения эксимерного XeCl лазера. Полученные плазмохимическим осаждением пленки аморфного кремния (толщина 90 nm) на стеклянной подложке были подвергнуты имплантации ионами фосфора с дозами 3·1014 и 3·1015 cm-2. Использовались лазерные обработки с плотностью энергии как выше, так и ниже порога плавления аморфного кремния. Структурные характеристики пленок были исследованы с применением спектроскопии комбинационного рассеяния света. Из анализа экспериментальных данных сделан вывод, что, фосфор стимулирует зародышеобразование, особенно в режиме жидкофазной кристаллизации. Полученные результаты представляют интерес для совершенствования технологии создания тонкопленочных транзисторов на нетугоплавких подложках.
  1. Efremov M.D., Volodin V.A., Fedina L.I. et al. // Abstracts of European Materials Research Society. Spring Meeting, Strasbourg, 2000. P. O/P24
  2. Timans P.J., Lerch W., Paul S. et al. // Solid State Technology. 2004. May. P. 35--40
  3. Двуреченский А.В., Попов В.П., Кашников Б.П. и др. // Поверхность. 1986. В. 9. С. 77--81
  4. Гретцшель Р., Двуреченский А.В., Попов В.П. // ФТТ. 1986. Т. 28. В. 9. С. 3134--3136
  5. Csepregi L., Kennedy E.F., Gallagher T.J. et al. // Journal of Appl. Phys. 1977. V. 48. N 10. P. 4234--4246
  6. Sameshima T., Usui S. // J. Appl. Phys. 1991. V. 70. N 3. P. 1281--1289
  7. Ефремов М.Д., Болотов В.В., Володин В.А. и др. // ФТП. 2002. Т. 36. В. 1. С. 109--116
  8. Ефремов М.Д., Володин В.А., Федина Л.И. и др. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. В. 13. С. 89--94
  9. Smith J.E., Jr., Brodsky M.H., Crowder B.L. et al. // Phys. Rev. Lett. 1971. V. 26. P. 642--644
  10. Iqbal Z., Veptek S., Webb A.P. et al. // Solid State Commun. 1981. V. 37. P. 993--995
  11. Beeman D., Tsu R., Thorpe M.F. // Phys. Rev. B. 1985. V. 32. N 2. P. 874--878
  12. Beserman R., Khait Yu.L., Chack A. et al. // Journal of Non-Crystalline Solids. 2002. V. 299--302. P. 736--740
  13. Рассеяние света в твердых телах: проблемы прикладной физики / Под ред. М. Кардоны. М.: Мир, 1979. 392 с
  14. Sameshima T., Usui S. // J. Appl. Phys. 1991. V. 70. N 3. P. 1281--1289

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.