Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2004, выпуск 10 » Статья стр. 89
<<<
Параметры многослойной гетероструктуры по результатам совместного анализа кривых дифракционного отражения от разных кристаллографических плоскостей
Ломов А.А.1,2, Чуев М.А.1,2, Ганин Г.В.1,2
1Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
2Физико-технологический институт Российской академии наук, Москва, Россия
Email: a.lomov@ns.crys.ras.ru
Поступила в редакцию: 13 ноября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2004 г.
PDF версия
Методом двухкристальной рентгеновской дифрактометрии выполнены измерения кривых отражения от плоскостей (004), (113) и (115) псевдоморфной гетероструктуры InxGa1-xAs/GaAs(001) с одной квантовой ямой толщиной 12 nm. Впервые проведена совместная подгонка дифракционных кривых от разных кристаллографических плоскостей, что позволило получить более достоверную информацию о толщине, деформации и аморфизации отдельных слоев гетероструктуры.
  1. Burgeat P.J., Taupin D. // Acta Cryst. 1968. V. A24. P. 99--102
  2. Kyutt R.N., Petrashen P.V., Sorokin L.M. // Phys. stat. sol. (a). 1980. V. 60. P. 381--389
  3. Петрашень П.В. // ФТТ. 1974. Т. 16. С. 2168--2175
  4. Speriosu V.S., Nicolet M.A., Tandon J.L. et al. // J. Appl. Phys. 1985. V. 57. P. 1377--1379
  5. Афанасьев А.М., Фанченко С.С. // ДАН. 1986. Т. 287. С. 1395--1399
  6. Golovchenko J.A., Batterman B.W., Brown W.L. // Phys. Rev. B. 1976. V. 13. P. 2524--2527
  7. Афанасьев А.М., Кон В.Г. // ЖЭТФ. 1978. Т. 74. С. 300--313
  8. Афанасьев А.М., Чуев М.А., Имамов Р.М. и др. // Кристаллография. 1997. Т. 42. N 3. С. 514--523
  9. Афанасьев А.М., Имамов Р.М., Ломов А.А. и др. // Микроэлектроника. 2003. Т. 32. N 2. С. 83--89
  10. Cramer H. Mathematical Methods of Statistics. Princeton, New Jersey: Princeton. Univ. Press, 1946
  11. Вайнштейн Б.К. Современная кристаллография. Т. 1. М.: Наука, 1979. 384 с
  12. Darhuber A.A., Stangl J., Holy V. et al. // Thin Solid Films. 1997. V. 306. P. 198--204
  13. Kyutt R.N., Shubina T.V., Sorokin S.V. et al. // J. Phys. D.: Appl. Phys. 2003. V. 36. P. A166

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme