"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Параметры многослойной гетероструктуры по результатам совместного анализа кривых дифракционного отражения от разных кристаллографических плоскостей
Ломов А.А.1,2, Чуев М.А.1,2, Ганин Г.В.1,2
1Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова Российской академии наук, Москва, Россия
2Физико-технологический институт Российской академии наук, Москва, Россия
Email: a.lomov@ns.crys.ras.ru
Поступила в редакцию: 13 ноября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2004 г.

Методом двухкристальной рентгеновской дифрактометрии выполнены измерения кривых отражения от плоскостей (004), (113) и (115) псевдоморфной гетероструктуры InxGa1-xAs/GaAs(001) с одной квантовой ямой толщиной 12 nm. Впервые проведена совместная подгонка дифракционных кривых от разных кристаллографических плоскостей, что позволило получить более достоверную информацию о толщине, деформации и аморфизации отдельных слоев гетероструктуры.
  1. Burgeat P.J., Taupin D. // Acta Cryst. 1968. V. A24. P. 99--102
  2. Kyutt R.N., Petrashen P.V., Sorokin L.M. // Phys. stat. sol. (a). 1980. V. 60. P. 381--389
  3. Петрашень П.В. // ФТТ. 1974. Т. 16. С. 2168--2175
  4. Speriosu V.S., Nicolet M.A., Tandon J.L. et al. // J. Appl. Phys. 1985. V. 57. P. 1377--1379
  5. Афанасьев А.М., Фанченко С.С. // ДАН. 1986. Т. 287. С. 1395--1399
  6. Golovchenko J.A., Batterman B.W., Brown W.L. // Phys. Rev. B. 1976. V. 13. P. 2524--2527
  7. Афанасьев А.М., Кон В.Г. // ЖЭТФ. 1978. Т. 74. С. 300--313
  8. Афанасьев А.М., Чуев М.А., Имамов Р.М. и др. // Кристаллография. 1997. Т. 42. N 3. С. 514--523
  9. Афанасьев А.М., Имамов Р.М., Ломов А.А. и др. // Микроэлектроника. 2003. Т. 32. N 2. С. 83--89
  10. Cramer H. Mathematical Methods of Statistics. Princeton, New Jersey: Princeton. Univ. Press, 1946
  11. Вайнштейн Б.К. Современная кристаллография. Т. 1. М.: Наука, 1979. 384 с
  12. Darhuber A.A., Stangl J., Holy V. et al. // Thin Solid Films. 1997. V. 306. P. 198--204
  13. Kyutt R.N., Shubina T.V., Sorokin S.V. et al. // J. Phys. D.: Appl. Phys. 2003. V. 36. P. A166

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.