"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Влияние ультразвукового воздействия на генерационные характеристики границы раздела кремний--диоксид кремния
Парчинский П.Б.1, Власов С.И.1, Лигай Л.Г.1, Щукина О.Ю.1
1Национальный университет Узбекистана (НУУз), Ташкент, Узбекистан
Email: pavelphys@mail.ru
Поступила в редакцию: 8 января 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2003 г.

Исследовано влияние ультразвукового воздействия на генерационные характеристики границы раздела кремний-диоксид кремния, полученной при термическом окислении поверхности кремния. Показано, что ультразвуковое воздействие приводит к уменьшению скорости поверхностной генерации и увеличению генерационного времени жизни неосновных носителей заряда. Обнаруженные эффекты связаны с перестройкой дефектной структуры переходного слоя на границе раздела Si-SiO2 и прилегающей к ней области Si.
  1. Баранский П.И., Беляев А.Е., Коширенко С.М. и др. // ФТТ. 1990. Т. 32. N 7. С. 2159--2161
  2. Заверюхин Б.Н., Кревчик В.Д., Муминов Р.А. и др. // ФТП. 1986. Т. 20. N 3. С. 525--528
  3. Брайловский Е.Ю., Здебский А.П., Корчная В.Л. и др. // Письма в ЖТФ. 1987. Т. 13. N 21. С.1310--1313
  4. Островский И.В., Стобленко Л.П., Надточий А.Б. // ФТП. 2000. Т. 34. N 3. С. 257--260
  5. Першенков В.С., Попов В.Д., Шальнов В.Д. Поверхностные радиационные эффекты в ИМС. М.: Энергоиздат, 1988. 256 с
  6. Zerbst M. // Z. Angew. Phys. 1966. V. 22. N 1. P. 3039--3046
  7. Kang J.S., Schroder D.K. // Phys. St. Sol. (a). 1985. V. 89. N 13. P. 13--14
  8. Берман Л.С., Лебедев А.А. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках. Л.: Наука, 1981. 176 с
  9. Литовченко В.Г., Горбань А.П. Основы физики микроэлектронных систем метал--диэлектрик--полупроводник. Киев: Наук. думка, 1978. 316 с
  10. Schroder P.K., Culdberg J. // Sol. St. Electron. 1971. V. 14. N 6. P. 1285--1287
  11. Парчинский П.Б., Власов С.И. // Микроэлектроника. 2001. Т. 30. N 6. С. 466--471
  12. Гольдман Е.И. // ФТП. 1993. Т. 27. N 2. С. 269--276
  13. Гольдман Е.И., Ждан А.Г. // ФТП. 1995. Т. 29. N 3. С. 2--428--437

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.