Рассмотрены многослойные пленочные структуры "буферный слой золота (20 nm)-медь (x nm)-кобальт (y nm)-защитный слой золота (10 nm)" и "буферный слой золота (20 nm)-кобальт (y nm)-медь (x nm)-защитный слой золота (10 nm)", где x+y~ 6 nm, полученные методом ионно-лучевого распыления. Показано, что наиболее гладкую поверхность имеет структура второго типа, у которой, кроме того, поверхность кобальта перед осаждением слоя меди подвергнута дополнительному облучению потоком ионов аргона с энергией меньше пороговой энергии распыления в едином вакуумном цикле осаждения. Облучение смесью ионов аргона и гелия в аналогичных условиях приводит к формированию более шероховатой структуры. Сделан вывод о сглаживании интерфейса кобальт-медь в результате многократных столкновений медленных ионов аргона с атомами кобальта при торможении в пределах двух-трех верхних атомных рядов слоя кобальта.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.