"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Сглаживание уединенного интерфейса кобальт--медь при облучении потоком низкоэнергетических ионов аргона
Стогний А.И.1, Новицкий Н.Н.1, Стукалов О.М.1
1УП "Завод Транзистор" НПО "Интеграл", Минск, Беларусь Институт физики твердого тела и полупроводников НАН Беларуси, Минск
Email: stognij@ifttp.bas-net.by
Поступила в редакцию: 9 августа 2002 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2002 г.

Рассмотрены многослойные пленочные структуры "буферный слой золота (20 nm)--медь (x nm)--кобальт (y nm)--защитный слой золота (10 nm)" и "буферный слой золота (20 nm)--кобальт (y nm)--медь (x nm)--защитный слой золота (10 nm)", где x+y~ 6 nm, полученные методом ионно-лучевого распыления. Показано, что наиболее гладкую поверхность имеет структура второго типа, у которой, кроме того, поверхность кобальта перед осаждением слоя меди подвергнута дополнительному облучению потоком ионов аргона с энергией меньше пороговой энергии распыления в едином вакуумном цикле осаждения. Облучение смесью ионов аргона и гелия в аналогичных условиях приводит к формированию более шероховатой структуры. Сделан вывод о сглаживании интерфейса кобальт--медь в результате многократных столкновений медленных ионов аргона с атомами кобальта при торможении в пределах двух-трех верхних атомных рядов слоя кобальта.
  1. Baibich M.N., Broto J.M., Fert F. et al. // J. Phys. Rev. Lett. 1988. V. 61. P. 2472--2475
  2. Dieny B. // JMMM. 1994. V. 136. P. 335--359
  3. Palasantzas G., Zhao Y.-P., Hosson J.Th.M., Wang G.-C. // Physica B. 2000. V. 283. P. 199--202
  4. Zhou X.W., Wadley H.N.G. // Surface science. 2001. V. 487. P. 159--170
  5. Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М. // Новые магнитные материалы микроэлектроники. Сб. трудов XVIII межд. школы-семинара 24--28 июня 2002 г. М., 2002. С. 303--305
  6. Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. В. 1. С. 39--48
  7. Smentkowski V.S. // Progress in Surface Science. 2000. V. 64. P. 1--58
  8. Thin films --- interdiffusion and reactions / Ed. by Poate J.M., Tu K.N., Mayer J.V. --- A Willey-Interscience Publication John Wiley and Songs Inc., 1978
  9. Introduction to solid state physics / C. Kittel --- A Willey-Interscience Publication John Wiley and Songs Inc., 1956

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.