Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2026, выпуск 20 » Статья стр. 35
<<<>>>
Взаимосвязь кинетики кристаллизации с электрическими свойствами пленок цирконата-титаната свинца
The Ministry of Education and Science of the Russian Federation, State assignment, project FSFZ-2026-0003
The Ministry of Education and Science of the Russian Federation, State assignment, project FFUG-2024-0013
The Research Center of the Institute of Nuclear Physics , State Order
Делимова Л.А. 1, Сайланкин К.К. 2, Жигалина О.М. 3,4, Серегин Д.С. 2, Хмеленин Д.Н. 3, Зайцева Н.В.1, Воротилов К.А. 2, Сигов А.С. 2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2МИРЭА - Российский технологический университет, Москва, Россия
3Курчатовский комплекс кристаллографии и фотоники НИЦ " Курчатовский институт", Москва, Россия
4Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва, Россия
Email: ladel@mail.ioffe.ru, Saylankin@mirea.ru, olga_zhigalina@mail.ru, d_seregin@mirea.ru, dirq@rambler.ru, vorotilov@mirea.ru, sigov@mirea.ru
Поступила в редакцию: 12 мая 2026 г.
В окончательной редакции: 3 июля 2026 г.
Принята к печати: 7 июля 2026 г.
Выставление онлайн: 10 августа 2026 г.
PDF версия
Установлена роль кинетики кристаллизации при формировании тонких сегнетоэлектрических пленок на подложках платинированного кремния. Кристаллизация в условиях быстрого термического отжига приводит к увеличению скорости гетерогенного зародышеобразования, что вызывает образование сильно текстурированных пленок, сохраняющих поляризационные свойства при некотором росте диэлектрической проницаемости. При этом усиливаются диффузионные процессы по границам зерен Pt-электрода, что проявляется главным образом в большей по сравнению со случаем изотермического отжига величине проводимости. Она определяется доминирующим процессом транспорта носителей по границам зерен. Данный фактор необходимо учитывать в процессах интеграции сегнетоэлектрических элементов для обеспечения компромисса между минимизацией температурного бюджета и сохранением электрических характеристик структур. Ключевые слова: сегнетоэлектрические пленки, цирконат-титанат свинца, кристаллизация, быстрый термический отжиг.
  1. P. Muralt, in: Chemical solution deposition of functional oxide thin films, ed. by T. Schneller, R. Waser, M. Kosec, D. Payne (Springer, Vienna, 2013), p. 593--620. DOI: 10.1007/978-3-211-99311-8_24
  2. Y. Hao, T. Li, X. Hong, Chem. Commun., 61 (26), 4924 (2025). DOI: 10.1039/D4CC05836D
  3. В.И. Мусатов, Ф.А. Федулов, Д.В. Савельев, Е.В. Болотина, Л.Ю. Фетисов, Russ. Technol. J., 11 (5), 63 (2023). DOI: 10.32362/2500-316X-2023-11-5-63-70
  4. J. Chen, K.R. Udayakumar, K.G. Brooks, L.E. Cross, J. Appl. Phys., 71 (9), 4465 (1992). DOI: 10.1063/1.350789
  5. H.J. Han, Y.N. Chen, Z.J. Wang, Ceram. Int., 41 (10), 15208 (2015). DOI: 10.1016/j.ceramint.2015.08.098
  6. J. Lu, T. Kobayashi, Y. Zhang, R. Maeda, T. Mihara, Thin Solid Films, 515 (4), 1506 (2006). DOI: 10.1016/j.tsf.2006.04.016
  7. Y. Wang, H. Zhu, Y. Xue, P. Yan, J. Ouyang, Materials, 16 (5), 2068 (2023). DOI: 10.3390/ma16052068
  8. Н.М. Котова, К.А. Воротилов, Д.С. Серегин, А.С. Сигов, Неорган. материалы, 50 (6), 661 (2014). [N.M. Kotova, K.A. Vorotilov, D.S. Seregin, A.S. Sigov, Inorgan. Mater., 50 (6), 612 (2014). DOI: 10.1134/S0020168514060107]
  9. Yu. Podgorny, K. Vorotilov, A. Sigov, Appl. Phys. Lett., 105 (18), 182904 (2014). DOI: 10.1063/1.4901317
  10. Yu.V. Podgorny, A.N. Antonovich, A.A. Petrushin, A.S. Sigov, K.A. Vorotilov, J. Electroceram., 49 (1), 15 (2022). DOI: 10.1007/s10832-022-00288-5
  11. L.A. Delimova, V.S. Yuferev, J. Appl. Phys., 124 (18), 184102 (2018). DOI: 10.1063/1.5052613
  12. L.A. Delimova, E.V. Guschina, D.S. Seregin, K.A. Vorotilov, A.S. Sigov, J. Appl. Phys., 121 (22), 224104 (2017). DOI: 10.1063/1.4985177
  13. K.A. Vorotilov, A.S. Sigov, D.S. Seregin, Y.V. Podgorny, O.M. Zhigalina, D.N. Khmelenin, Phase Transit., 86 (11), 1152 (2013). DOI: 10.1080/01411594.2013.794276
  14. E.M. Griswold, L. Weaver, M. Sayer, I.D. Calder, J. Mater. Res., 10 (12), 3149 (1995). DOI: 10.1557/JMR.1995.3149

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2026 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme