Кристаллографическая ориентация пластин (100) β-Ga2О3 методом оптической коноскопии
Шапенков С.В.1, Крымов В.М.1, Аргунова Т.С.1, Щеглов М.П.1, Николаев В.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия

Email: seva.shapenkov@yandex.ru
Поступила в редакцию: 26 марта 2026 г.
В окончательной редакции: 14 мая 2026 г.
Принята к печати: 27 мая 2026 г.
Выставление онлайн: 11 июля 2026 г.
Предложен быстрый и относительно точный оптический метод определения основных кристаллографических направлений в пластинах (100) β-Ga2O3, выколотых из объемного кристалла. Способ ориентации кристаллов основан на результатах сопоставления данных индицирования плоскостей методом рентгеновской дифрактометрии и формы коноскопических фигур в поляризационном микроскопе. Ключевые слова: Ga2O3, ориентация кристаллов, коноскопия, поляризационный микроскоп, рентгеновская дифрактометрия.
- S.I. Stepanov, V.I. Nikolaev, V.E. Bougrov, A.E. Romanov, Rev. Adv. Mater. Sci., 44 (1), 63 (2016)
- Y. Wang, M. Zhu, Y. Liu, China Foundry, 21 (5), 491 (2024). DOI: 10.1007/s41230-024-4131-5
- Z. Galazka, IEEE Trans. Semicond. Manuf., 38 (4), 796 (2025). DOI: 10.1109/TSM.2025.3603605
- S. Bin Anooz, R. Gruneberg, C. Wouters, R. Schewski, M. Albrecht, A. Fiedler, K. Irmscher, Z. Galazka, W. Miller, G. Wagner, J. Schwarzkopf, A. Popp, Appl. Phys. Lett., 116 (18), 182106 (2020). DOI: 10.1063/5.0005403
- J.D. Blevins, D. Thomson, K. Stevens, G. Foundos, A.A. Lindsey, J. Leach, J. Rumsey, in 2020 Int. Conf. on compound semiconductor manufacturing technology (CS MANTECH) (Online, 2020), p. 49
- S.T. Schmidt, Transmitted light microscopy of rock-forming minerals. An introduction to optical mineralogy (Springer, Cham, 2023), p. 24
- A. Almaev, V. Nikolaev, N. Yakovlev, P. Butenko, A. Tsymbalov, M. Boiko, V. Kopyev, V. Krymov, B. Kushnarev, S. Shapenkov, M. Sharkov, A. Zarichny, J. Vac. Sci. Technol. A, 42, 042802 (2024). DOI: 10.1116/6.0003618
- R. Schewski, M. Baldini, K. Irmscher, A. Fiedler, T. Markurt, B. Neuschulz, T. Remmele, T. Schulz, G. Wagner, Z. Galazka, M. Albrecht, J. Appl. Phys., 120 (22), 225308 (2016). DOI: 10.1063/1.4971957