Импульсное вакуумно-дуговое испарение композита ZrB2-SiC для получения аморфных покрытий Zr-B-Si-C-(N)
Российский научный фонд, 25-19-00438
Демиров А.П.1, Белов Д.С.1, Хайдаров Б.Б.1, Щетинин И.В.1, Быков Р.А.1, Суворов Д.С.1, Блинков И.В.1
1Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия

Email: apdemirov@misis.ru, dm.blv@yandex.ru
Поступила в редакцию: 18 февраля 2026 г.
В окончательной редакции: 6 апреля 2026 г.
Принята к печати: 8 апреля 2026 г.
Выставление онлайн: 1 июня 2026 г.
Показана возможность получения аморфных покрытий системы Zr-B-Si-C-(N) методом импульсного вакуумно-дугового осаждения с использованием композитного катода ZrB_2-SiC. Импульсный режим осаждения обеспечил минимальную термическую нагрузку, формирование однородных покрытий с низкой долей капельной фазы и их аморфное состояние. Ключевые слова: аморфизация, жаростойкие покрытия, диборид циркония, карбид кремния.
- В.В. Шмаков, А.С. Буяков, С.П. Буякова, Письма в ЖТФ, 50 (22), 11 (2024). DOI: 10.21883/PJTF.2023.21.56462.19673 [V.V. Shmakov, A.S. Buyakov, S.P. Buyakova, Tech. Phys. Lett., 50 (11), 63 (2024). DOI: 10.21883/PJTF.2023.21.56462.19673]
- Ф.В. Кирюханцев-Корнеев, Е.А. Левашов, Письма в ЖТФ, 46 (4), 30 (2020). DOI: 10.21883/PJTF.2020.04.49047.18057 [F.V. Kiryukhantsev-Korneev, E.A. Levashov, Tech. Phys. Lett., 46 (2), 179 (2020). DOI: 10.1134/S1063785020020224]
- J. Hao, J. Li, B. Zou, X. Cai, W. Shi, Y. Tan, J. Eur. Ceram. Soc., 42 (5), 2097 (2022). DOI: 10.1016/j.jeurceramsoc.2022.01.020
- G. de la Cuerda-Velazquez, E. Carella, M. Monclus, Y. Mendez-Gonzalez, F.J. Sanchez, R. Gonzalez-Arrabal, Surf. Coat. Technol., 499, 131897 (2025). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2025.131897
- A. Inoue, F. Kong, X. Zhu, J. Chen, H. Men, W.J. Botta, J. Alloys Compd., 979, 173546 (2024). DOI: 10.1016/j.jallcom.2024.173546
- A. Takeuchi, A. Inoue, Mater. Trans., 46 (12), 2817 (2005). DOI: 10.2320/matertrans.46.2817
- K. Wieczerzak, A. Sharma, C. Hain, J. Michler, Mater. Des., 230, 111994 (2023). DOI: 10.1016/j.matdes.2023.111994
- B.A. Eizner, G.V. Markov, A.A. Minevich, Surf. Coat. Technol., 79 (1-3), 178 (1996). DOI: 10.1016/0257-8972(95)02427-1
- J. Sasaki, I.G. Brown, J. Appl. Phys., 66 (11), 5198 (1989). DOI: 10.1063/1.343756
- R. Singh, M. Trenary, Y. Paderno, Surf. Sci. Spectra, 7 (4), 310 (2000). DOI: 10.1116/1.1376317
- S. Badrinarayanan, S. Sinha, A.B. Mandale, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 49 (1), 30 (1989). DOI: 10.1016/0368-2048(89)85018-2
- T. Yamauchi, H. Kitamura, N. Wakai, S. Zaima, Y. Koide, Y. Yasuda, J. Vac. Sci. Technol. A, 11 (5), 2619 (1993). DOI: 10.1116/1.578616
- G. Mavel, J. Escard, P. Costa, J. Castaing, Surf. Sci., 35, 109 (1973). DOI: 10.1016/0039-6028(73)90207-0
- J.R. Waldrop, R.W. Grant, Y.C. Wang, R.F. Davis, J. Appl. Phys., 72 (10), 4757 (1992). DOI: 10.1063/1.352065
- R. Kaufmann, H. Klewe-Nebenius, H. Moers, G. Pfennig, H. Jenett, H.J. Ache, Surf. Interface Anal., 11 (10), 502 (1988). DOI: 10.1002/sia.740111003
- H. Kobayashi, T. Mizokuro, Y. Nakato, K. Yoneda, Y. Todokoro, Appl. Phys. Lett., 71 (14), 1978 (1997). DOI: 10.1063/1.119760