Вышедшие номера
Регулярные массивы тройных квантовых точек InAs/GaAs в треугольной конфигурации
Российский научный фонд, Президентская программа исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными, 23-79-10313
Министерство науки и высшего образования РФ, Национальный проект "Молодежь и дети", FENW-2025-0004
Балакирев С.В. 1, Кириченко Д.В. 1, Солодовник Н.Е. 1, Шандыба Н.А. 1, Духан Д.Д. 1, Ерёменко М.М. 1, Солодовник М.С. 1
1Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Таганрог, Россия
Email: sbalakirev@sfedu.ru, solodovnikms@sfedu.ru
Поступила в редакцию: 29 января 2026 г.
В окончательной редакции: 26 февраля 2026 г.
Принята к печати: 27 февраля 2026 г.
Выставление онлайн: 14 апреля 2026 г.

Впервые представлен подход, позволяющий эпитаксиально выращивать упорядоченные массивы тройных квантовых точек, расположенных в форме треугольника. Предложенный подход заключается в предварительном структурировании подложек GaAs(111)B с использованием комбинации фокусированных ионных пучков и локального капельного травления и последующего осаждения InAs методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Оптимизация технологических режимов позволяет достичь высокой селективности и выхода тройных квантовых точек в массиве, а также контролировать расстояние между ними. Ключевые слова: молекулярно-лучевая эпитаксия, фокусированные ионные пучки, наноструктурирование, квантовые точки. DOI: 10.21883/0000000000
  1. Y. Qi, J.-H. Wei, Chin. Phys. B, 33 (5), 057301 (2024). DOI: 10.1088/1674-1056/ad2d54
  2. H. Rahman, I. Khan, S. Yousaf, H. Bibi, S. Ali, H. Ali, S. Haddadi, Phys. Lett. A, 475, 128864 (2023). DOI: 10.1016/j.physleta.2023.128864
  3. J. Li, S. Dong, J. Wei, Chin. Phys. B, 35 (2), 020302 (2026). DOI: 10.1088/1674-1056/adec5d
  4. A. Noiri, J. Yoneda, T. Nakajima, T. Otsuka, M.R. Delbecq, K. Takeda, S. Amaha, G. Allison, A. Ludwig, A.D. Wieck, S. Tarucha, Appl. Phys. Lett., 108, 153101 (2016). DOI: 10.1063/1.4945592
  5. Y. Wang, J. Ding, D. Wang, Eur. Phys. J. D, 74 (9), 190 (2020). DOI: 10.1140/epjd/e2020-100537-x
  6. J. Li, Y. Qi, Y. Wang, J. Wei, Quantum Inf. Process., 24 (8), 241 (2025). DOI: 10.1007/s11128-025-04856-w
  7. A. Noiri, K. Kawasaki, T. Otsuka, T. Nakajima, J. Yoneda, S. Amaha, M.R. Delbecq, K. Takeda, G. Allison, A. Ludwig, A.D. Wieck, S. Tarucha, Semicond. Sci. Technol., 32 (8), 084004 (2017). DOI: 10.1088/1361-6641/aa7596
  8. M. Seo, H.K. Choi, S.-Y. Lee, N. Kim, Y. Chung, H.-S. Sim, V. Umansky, D. Mahalu, Phys. Rev. Lett., 110 (4), 046803 (2013). DOI: 10.1103/PhysRevLett.110.046803
  9. S.W. Jung, T. Fujisawa, Y. Hirayama, Y.H. Jeong, Appl. Phys. Lett., 85 (5), 768 (2004). DOI: 10.1063/1.1777802
  10. K.D. Zeuner, K.D. Jons, L. Schweickert, C. Reuterskiold Hedlund, C. Nunez Lobato, T. Lettner, K. Wang, S. Gyger, E. Scholl, S. Steinhauer, M. Hammar, V. Zwiller, ACS Photon., 8 (8), 2337 (2021). DOI: 10.1021/acsphotonics.1c00504
  11. S. Csonka, L. Hofstetter, F. Freitag, S. Oberholzer, C. Schonenberger, T.S. Jespersen, M. Aagesen, J. Nygard, Nano Lett., 8 (11), 3932 (2008). DOI: 10.1021/nl802418w
  12. W. Li, J. Mu, S. Huang, D. Pan, J. Zhao, H.Q. Xu, Appl. Phys. Lett., 117 (26), 262102 (2020). DOI: 10.1063/5.0032832
  13. E. Zallo, P. Atkinson, L. Wang, A. Rastelli, O.G. Schmidt, Phys. Status Solidi B, 249 (4), 702 (2012). DOI: 10.1002/pssb.201100772
  14. S.V. Balakirev, N.E. Chernenko, E.A. Lakhina, D.V. Kirichenko, N.A. Shandyba, D.D. Dukhan, M.M. Eremenko, M.S. Solodovnik, Nanotechnol. Russ., 19 (S1), S37 (2024). DOI: 10.1134/S2635167624602341