Ориентационная зависимость конусообразования при физическом ионно-лучевом распылении поликристаллического вольфрама
Андрианова Н.Н.
1,2, Борисов А.М.
1,2,3, Мулюков Р.Р.
4, Овчинников М.А.
1, Хисамов Р.Х.
41Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Московский авиационный институт (Национальный исследовательский университет), Москва, Россия
3Московский государственный технологический университет "СТАНКИН", Москва, Россия
4Институт проблем сверхпластичности металлов РАН, Уфа, Россия

Email: andrianova_nn@mail.ru, anatoly_borisov@mail.ru, radik@imsp.ru, ov.mikhail@gmail.com, r.khisamov@mail.ru
Поступила в редакцию: 9 декабря 2025 г.
В окончательной редакции: 12 февраля 2026 г.
Принята к печати: 17 февраля 2026 г.
Выставление онлайн: 14 апреля 2026 г.
Экспериментально установлена сильная зависимость конусообразования от кристаллографической ориентации зерен вольфрама на поверхности при облучении пучком ионов аргона с энергией 30 keV. Обнаружено, что наибольшему конусообразованию подвержены зерна с ориентацией (114). Существующие представления об образовании конусов при физическом распылении дополнены учетом каналирования ионов в кристаллах. Ключевые слова: вольфрам, ионное облучение, каналирование, ионно-индуцированные конусы, коэффициентраспыления. DOI: 10.21883/0000000000
- Р. Бериш, Распыление твердых тел ионной бомбардировкой (Мир, М., 1986), вып. II. [R. Behrisch, Sputtering by particle bombardment II (Springer, Berlin, 1983).]
- L.B. Begrambekov, A.M. Zakharov, V.G. Telkovsky, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 115, 456 (1996). DOI: 10.1016/0168-583X(95)01514-0
- Н.Н. Андрианова, А.М. Борисов, М.А. Овчинников, Р.Х. Хисамов, Р.Р. Мулюков, Изв. РАН. Сер. физ., 88 (4), 564 (2024). DOI: 10.31857/S0367676524040066 [N.N. Andrianova, A.M. Borisov, M.A. Ovchinnikov, R.Kh. Khisamov, R.R. Mulyukov, Bull. Russ. Acad. Sci. Phys., 88 (4), 478 (2024). DOI: 10.1134/S1062873823706141]
- В.И. Бачурин, М.А. Смирнова, К.Н. Лобзов, М.Е. Лебедев, Л.А. Мазалецкий, Д.Э. Пухов, А.Б. Чурилов, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 7, 69 (2024). DOI: 10.31857/S1028096024070102 [V.I. Bachurin, M.A. Smirnova, K.N. Lobzov, M.E. Lebedev, L.A. Mazaletsky, D.E. Pukhov, A.B. Churilov, J. Surf. Investig., 18 (4), 822 (2024). DOI: 10.1134/S1027451024700514]
- K. Mukaddam, M. Astasov-Frauenhoffer, E. Fasler-Kan, L. Marot, M. Kisiel, R. Steiner, F. Sanchez, E. Meyer, J. Koser, M.M. Bornstein, S. Kuhl, Nanomaterials, 12, 1065 (2022). DOI: 10.3390/nano12071065
- R.R. Mulyukov, R.K. Khisamov, A.M. Borisov, A.K. Baimiev, M.A. Ovchinnikov, R.R. Timiryaev, A.A. Vladimirova, Lett. Mater., 13 (4), 373 (2023). DOI: 10.22226/2410-3535-2023-4-373-376
- A.E. Ieshkin, K.F. Minnebaev, D.S. Kireev, A.A. Tatarintsev, Res. Surf. Interfaces, 19, 100479 (2025). DOI: 10.1016/j.rsurfi.2025.100479
- Р.Х. Хисамов, Н.Н. Андрианова, А.М. Борисов, М.А. Овчинников, И.И. Мусабиров, Р.Р. Тимиряев, Р.Р. Мулюков, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 4, 119 (2025). DOI: 10.31857/S1028096025040173 [R.Kh. Khisamov, N.N. Andrianova, A.M. Borisov, M.A. Ovchinnikov, I.I. Musabirov, R.R. Timiryaev, R.R. Mulyukov, J. Surf. Investig., 19 (2), 497 (2025). DOI: 10.1134/S1027451025700740]
- V. Brackmann, V. Hoffmann, A. Kauffmann, A. Helth, J. Thomas, H. Wendrock, J. Freudenberger, T. Gemming, J Eckert, Mater. Charact., 91, 76 (2014). DOI: 10.1016/j.matchar.2014.02.002
- F. Sanchez, R. Steiner, P. Lattner, J. Spicher, D. Mathys, R. Antunes, M. Kisiel, K. Mukaddam, M. Astasov-Frauenhoffer, S. Kuhl, J. Koser, R.S. Wagner, L. Marot, E. Meyer, Surf. Int.., 35, 102428 (2022). DOI: 10.1016/j.surfin.2022.102428
- J.L. Whitton, O. Holck, G. Carter, M.J. Nobes, Nucl. Instrum. Meth., 170, 371 (1980). DOI: 10.1016/0029-554X(80)91042-3
- Р.Х. Хисамов, Н.Н. Андрианова, А.М. Борисов, М.А. Овчинников, Р.Р. Мулюков, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 2, 79 (2025). DOI: 10.31857/S1028096025020118 [R.Kh. Khisamov, N.N. Andrianova, A.M. Borisov, M.A. Ovchinnikov, R.R. Mulyukov, J. Surf. Investig., 19 (1), 179 (2025). DOI: 10.1134/S1027451025700284]
- www.bruker.com
- http://beam.sinp.msu.ru/
- http://www.oxinst.ru
- Р. Бериш, Распыление твердых тел ионной бомбардировкой (Мир, М., 1984), вып. I. [R. Behrisсh, Sputtering by particle bombardment I (Springer, Berlin, 1981).]
- C. Kittel, Introduction to solid state physics (John Wiley and Sons, Inc., 2005)
- В.С. Михайлов, П.Ю. Бабенко, А.П. Шергин, А.Н. Зиновьев, Физика плазмы, 50 (1), 15 (2024). DOI: 10.31857/S0367292124010022 [V.S. Mikhailov, P.Yu. Babenko, A.P. Shergin, A.N. Zinoviev, Plasma Phys. Rep., 50 (1), 23 (2024). DOI: 10.1134/S1063780X23601682]
- G.H. Al-Malkawi, A.-M.B.A. Al-Ajlony, K.F. AL-Shboul, Radiat. Phys. Chem., 214, 111296 (2024). DOI: 10.1016/j.radphyschem.2023.111296
- V.I. Shulga, Vacuum, 240, 114489 (2025). DOI: 10.1016/j.vacuum.2025.114489
- F. Kporha, K. Nordlund, F. Granberg, J. Nucl. Mater., 613, 155856 (2025). DOI: 10.1016/j.jnucmat.2025.155856