Рассмотрен способ демпфирования низкочастотного резонанса исполнительного элемента в петле обратной связи сканирующего зондового микроскопа, основанный на балансировании положением центра масс пьезоактуатора и симметризации конструкции сканера. С помощью моделирования найдена оптимальная конструкция сканера. Крепление сканера к неподвижному основанию в плоскости симметрии корпуса обеспечивает гашение низкочастотного резонанса сканера, позволяет увеличить коэффициент усиления в разорванной петле обратной связи и, как следствие, улучшает быстродействие следящей системы без ухудшения стабильности ее работы. На основании выполненных расчетов изготовлен макет сканера и экспериментально исследована его амплитудно-частотная характеристика. Получено хорошее согласие между расчетными и экспериментальными данными. На примере визуализации поверхности тестового образца в режиме сканирующей микроскопии ионных токов продемонстрировано преимущество демпфирования низкочастотного резонанса сканера в "hopping"-моде. Ключевые слова: пьезоактуатор, скорость сканирования, обратная связь, баланс центра масс, сканирующая микроскопия ионной проводимости.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.