Построена кинетическая теория прикатодного слоя низковольтного пучкового разряда в инертных газах при числах Кнудсена порядка единицы. В этих условиях данная плазменная система перспективна для создания приборов плазменной электроники. Обнаружено, что структура прикатодного слоя такого разряда принципиально отличается от таковой для самостоятельного тлеющего разряда. Так, пространственная зависимость электрического поля может быть немонотонной и содержать максимум. При этом значения электрического поля около катода оказываются существенно меньше, пространственные зависимости плотностей электронов и ионов могут иметь минимум, а протяженности квазинейтрального предслоя и прикатодной части возмущенного слоя, где существенно нарушается квазинейтральность, значимо возрастают. Ключевые слова: прикатодный слой, предслой, электронный пучок, упругое рассеяние электронов.