Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2025, выпуск 1 » Статья стр. 57
<<<
Исследование структурных и отражательных характеристик многослойных рентгеновских зеркал на основе пары материалов Ru/B
РНФ, 21-72-30029
РНФ, 21-72-20108
Шапошников Р.А.1, Полковников В.Н.1, Чхало Н.И.1, Гарахин С.А.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: shaposhnikov-roma@mail.ru
Поступила в редакцию: 30 июля 2024 г.
В окончательной редакции: 28 августа 2024 г.
Принята к печати: 4 сентября 2024 г.
Выставление онлайн: 9 января 2025 г.
PDF версия
Приводятся результаты исследования отражательных характеристик на длинах волн 0.154, 0.989 и 1.759 nm и восстановленных по этим данным структурных характеристик многослойных рентгеновских зеркал Ru/B без прослоек и с прослойками углерода. Нанесение прослоек С на границы B на Ru привело к уменьшению ширины переходной области с 0.69 до 0.37 nm. Коэффициент отражения Ru/C/B на длине волны 6.65 nm, рассчитанный с использованием полученных структурных параметров зеркал, составил рекордное значение 68.9%. Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, синхротронные приложения, монохроматоры рентгеновского излучения, рентгеновская литография.
  1. N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko, AIP Adv., 3 (8), 082130 (2013). DOI: 10.1063/1.4820354
  2. С.А. Гарахин, В.Н. Полковников, Н.И. Чхало, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 3, 10 (2019). DOI: 10.1134/S0207352819030077 [S.A. Garakhin, V.N. Polkovnikov, N.I. Chkhalo, J. Surf. Investig., 13 (2), 173 (2019). DOI: 10.1134/S1027451019020071]
  3. А.А. Ахсахалян, Ю.А. Вайнер, С.А. Гарахин, К.А. Елина, П.С. Заверткин, С.Ю. Зуев, Д.В. Ивлюшкин, А.Н. Нечай, А.Д. Николенко, Д.Е. Парьев, Р.С. Плешков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Н.И. Чхало, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 1, 14 (2019). DOI: 10.1134/S0207352819010025 [A.A. Akhsakhalyan, Yu.A. Vainer, S.A. Garakhin, K.A. Elina, P.S. Zavertkin, S.Yu. Zuev, D.V. Ivlyushkin, A.N. Nechay, A.D. Nikolenko, D.E. Pariev, R.S. Pleshkov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, N.I. Chkhalo, J. Surf. Investig., 13 (1), 1 (2019). DOI: 10.1134/S1027451019010026]
  4. J.K. Lepson, P. Beiersdorfer, J. Clementson, M.F. Gu, M. Bitter, L. Roquemore, R. Kaita, P.G. Cox, A.S. Safronova, J. Phys. B, 43 (14), 144018 (2010). DOI: 10.1088/0953-4075/43/14/144018
  5. С.С. Андреев, М.М. Барышева, Н.И. Чхало, С.А. Гусев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Д.Н. Рогачев, Н.Н. Салащенко, Ю.А. Вайнер, С.Ю. Зуев, ЖТФ, 80 (8), 93 (2010). [S.S. Andreev, M.M. Barysheva, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.N. Rogachev, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer, S.Yu. Zuev, Tech. Phys., 55 (8), 168 (2010). DOI: 10.1134/S1063784210080153].
  6. N.I. Chkhalo, S. Kunstner, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schafers, S.D. Starikov, Appl. Phys. Lett., 102 (1), 011602 (2013). DOI: 10.1063/1.4774298
  7. P. Naujok, S. Yulin, N. Kaiser, A. Tunnermann, Proc. SPIE, 9422, 94221K (2015). DOI: 10.1117/12.2085764
  8. D.S. Kuznetsov, A.E. Yakshin, J.M. Sturm, R.W.E. van de Kruijs, E. Louis, F. Bijkerk, Opt. Lett., 40 (16), 3778 (2015). DOI: 10.1364/OL.40.003778
  9. T.D. Nguyen, R. Gronsky, J.B. Kortricht, Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 280, 161 (1993). DOI: 10.1557/PROC-280-161
  10. C. Borel, C. Morawe, A. Rommeveaux, C. Huguenot, J.-C. Peffen, Proc. SPIE, 6317, 63170I (2006). DOI: 10.1117/12.678472
  11. C. Borel, C. Morawe, E. Ziegler, T. Bigault, J.-Y. Massonnat, J.-C. Peffen, E. Debourg, Proc. SPIE, 5918, 591801 (2005). DOI: 10.1117/12.613873
  12. Q. Huang, Y. Liu, Y. Yang, R. Qi, Y. Feng, I.V. Kozhevnikov, W. Li, Z. Zhang, H. Jiang, L. Zhang, A. Li, J. Wang, Z. Wang, Opt. Express, 26 (17), 21803 (2018). DOI: 10.1364/OE.26.021803
  13. И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, С.Д. Стариков,Л.А. Суслов, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 7, 37 (2013). DOI: 10.7868/S0207352813070202 [I.G. Zabrodin, B.A. Zakalov, I.A. Kas'kov, E.B. Klyuenkov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, S.D. Starikov, L.A. Suslov, J. Surf. Investig., 7 (4), 637 (2013). DOI: 10.1134/S1027451013040204]
  14. M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.A. Fraerman, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A, 543 (1), 333 (2005). DOI: 10.1016/j.nima.2005.01.251
  15. M.J. Svechnikov, Appl. Cryst., 53 (1), 244 (2020). DOI: 10.1107/S160057671901584X

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme