Лазерная металлизация криволинейных поверхностей из глубоких эвтектических растворов
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный проект «Наука и университеты», № 075-01438-22-07 от 28.10.2022 г. (FSEE-2022-0019)
Российский научный фонд , 23-73-00060
Шестаков Д.С.1, Логунов Л.С.2, Комлев А.Е.
1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: dishestak@yandex.ru
Поступила в редакцию: 3 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 15 июля 2024 г.
Принята к печати: 30 октября 2024 г.
Выставление онлайн: 27 декабря 2024 г.
Развитие электроники ставит задачи, которые сложно решить традиционными методами, среди них получение металлических покрытий на криволинейной поверхности. Представлен один из методов решения этой проблемы - лазерное осаждение металлической меди на стеклянную криволинейную подложку. В качестве демонстрационной подложки выбран стеклянный цилиндр с радиусом 5 mm. Минимальная ширина осажденной дорожки составила 52 μm, отклонение ширины не превышало 10% по всей криволинейной поверхности. Удельное сопротивление дорожки не превышало 0.6 Ω· mm2· m-1, что позволяет использовать метод для создания медных покрытий - компонентов электронных устройств. Для демонстрации возможностей метода осаждены сетки с размером ячейки 500 μm. Ключевые слова: криволинейность, лазер, осаждение, металлизация.
- T. Nguyen, T. Sarkar, T. Tran, S.M. Moinuddin, D. Saha, F. Ahsan, Micromachines, 13 (8), 1357 (2022). DOI: 10.3390/mi13081357
- J. Lemarchand, N. Bridonneau, N. Battaglini, F. Carn, G. Mattana, B. Piro, S. Zrig, V. Noel, Angew. Chem. Int. Ed., 61 (8), e202200166 (2022). DOI: 10.1002/anie.202200166
- J. Nandy, H. Sarangi, S. Sahoo, Lasers Manuf. Mater. Process., 6 (3), 280 (2019). DOI: 10.1007/s40516-019-00094-y
- R. Duan, H. Zhang, L. Tian, E. Wang, T. Liu, R. Zhao, L. Liu, Phys. Fluids, 33 (6), 063316 (2021). DOI: 10.1063/5.0049165
- Y.A. Huang, H. Wu, C. Zhu, W. Xiong, F. Chen, L. Xiao, J. Liu, K. Wang, H. Li, D. Ye, Y. Duan, J. Chen, H. Yang, W. Li, K. Bai, Z. Yin, H. Ding, Int. J. Extrem. Manuf., 3 (4), 045101 (2021). DOI: 10.1088/2631-7990/ac115a
- J. Liu, L. Xiao, Z. Rao, B. Dong, Z. Yin, Y.A. Huang, Adv. Mater. Technol., 3 (8), 1800155 (2018). DOI: 10.1002/admt.201800155
- D. Shestakov, E. Khairullina, A. Shishov, S. Khubezhov, S. Makarov, I. Tumkin, L. Logunov, Opt. Laser Technol., 167, 109777 (2023). DOI: 10.1016/j.optlastec.2023.109777
- D.S. Shestakov, A.Yu. Shishov, M.V. Mesh, I.I. Tumkin, S.V. Makarov, L.S. Logunov, Bull. Russ. Acad. Sci. Phys., 86 (Suppl. 1), S201 (2022). DOI: 10.3103/S1062873822700691
- A. Shishov, D. Gordeychuk, L. Logunov, A. Levshakova, E. Andrusenko, I. Chernyshov, E. Danilova, M. Panov, E. Khairullina, I. Tumkin, New J. Chem., 45 (46), 21896 (2021). DOI: 10.1039/D1NJ04158D
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
