Влияние условий магнетронного распыления при осаждении покрытий (BaSrCa)CO3 на термоэлектронную эмиссию пленочных микрокатодов 
	
	
	
Жабин Г.А.
 1
1, Пелипец О.В.
1, Шарапов Н.А.
11АО "НПП "Исток" им. Шокина", Фрязино, Московская обл., Россия 

 Email: zhabingennady@yandex.ru
 
	Поступила в редакцию: 6 декабря 2023 г.
		
	В окончательной редакции: 22 февраля 2024 г.
		
	Принята к печати: 9 марта 2024 г.
		
	Выставление онлайн: 2 мая 2024 г.
		
		
Экспериментально исследовано влияние температуры и мощности разряда ионно-плазменного осаждения молекулярно-напыленных оксидных микрокатодов на их эмиссионную активность. С применением оже-электронной спектроскопии и рентгенофлуоресцентного анализа изучен элементный состав тонкого покрытия таких микрокатодов. Продемонстрировано воздействие атмосферы и остаточных газов на их работу. Ключевые слова: молекулярно-напыленный оксидный микрокатод, эмиссионные характеристики, срок службы, работа выхода, электровакуумный прибор. 
-  D.M. Kirkwood, S.J. Gross, T.J. Balk, M.J. Beck, IEEE Trans. Electron Dev., 65 (6), 2061 (2018). DOI: 10.1109/TED.2018.2804484
-  M.N. Seif, Q. Zhou, X. Liu, T.J. Balk, M.J. Beck, IEEE Trans. Electron Dev., 69 (7), 3513 (2022). DOI: 10.1109/TED.2022.3172052
-  Y. Liu, C.M. Day, S.A. Little, F. Jin, J. Vac. Sci. Technol. A, 24 (6), 2187 (2006). DOI: 10.1116/1.2363400
-  L. Lin, R. Jacobs, S.D. Marks, P.G. Evans, D. Morgan, J. Booske, in IEEE 21st Int. Conf. on vacuum electronics (IVEC) (IEEE, 2020), p. 161--162. DOI: 10.1109/IVEC45766.2020.9520630
-  K.R. Zavadil, D.B. King, J.A. Ruffner, AIP Conf. Proc., 552 (1), 1165 (2001). DOI: 10.1063/1.1358067
-  Г.А. Жабин, А.В. Коннов, Прикладная физика, N 2, 77 (2023). DOI: 10.51368/1996-0948-2023-2-77-83
-  A.N.H. Al-Ajili, A.K. Ray, J.R. Travis, S.N.B. Hodgson, A.P. Baker, C.J. Goodhand, J. Mater. Sci.: Mater. Electron., 11 (6), 489 (2000). DOI: 10.1023/A:1008916501674
-  А.Б. Киселев, Металлооксидные катоды электровакуумных приборов (Изд-во МФТИ, М., 2001)
-  Д.М. Митин, В.А. Александров, А.А. Скапцов, С.Б. Вениг, А.А. Сердобинцев, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 6, 31 (2015). DOI: 10.7868/S0207352815060177 [D.M. Mitin, V.A. Aleksandrov, A.A. Skaptsov, S.B. Venig, A.A. Serdobintsev, J. Surf. Investig., 9 (3), 555 (2015). DOI: 10.1134/S1027451015030313]
-  Б.Я. Мойжес, Физические процессы в оксидном катоде (Наука, М., 1968)
-  В.И. Капустин, И.П. Ли, А.С. Серпичев, А.В. Шуманов, Н.Е. Кожевникова, ЖТФ, 92 (3), 472 (2022). DOI: 10.21883/JTF.2022.03.52143.211-21 [V.I. Kapustin, I.P. Li, A.S. Serpichev, A.V. Shumanov, N.E. Kozhevnikova, Tech. Phys., 67 (3), 376 (2022). DOI: 10.21883/TP.2022.03.53270.211-21]
-  В.И. Капустин, И.П. Ли, Н.Е. Кожевникова, Э.Ф. Худайгулова, Рос. технол. журн., 10 (6), 60 (2022). DOI: 10.32362/2500-316X-2022-10-6-60-69 
		
			Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
		
		
			Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.