Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2024, выпуск 9 » Статья стр. 3
>>>
Идентификация парамагнитных центров спин-зависимой рекомбинации на поверхности пластин кремния
Власенко Л.С.1, Федосов И.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Leovlas@solid.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 19 декабря 2023 г.
В окончательной редакции: 19 декабря 2023 г.
Принята к печати: 24 декабря 2023 г.
Выставление онлайн: 4 апреля 2024 г.
PDF версия
Методами спин-зависимой рекомбинации и детектирования резонансного изменения микроволновой фотопроводимости зарегистрированы и исследованы спектры электронного парамагнитного резонанса центров на поверхности пластин кремния с ориентациями (111), (110) и (100), не подвергнутых термическому окислению, после их естественного окисления на воздухе. Обсуждены оптимальные экспериментальные условия регистрации спектров с чувствительностью на порядок больше, чем в случае обычного метода электронного парамагнитного резонанса. Ключевые слова: кремний, поверхностные центры, электронный парамагнитный резонанс.
  1. M. Lannoo, Rev. Phys. Appl. (Paris), 25 (9), 887 (1990). DOI: 10.1051/rphysap:01990002509088700
  2. P.M. Lenahan, J.F. Conley, Jr., J. Vac. Sci. Technol. B, 16 (4), 2134 (1998). DOI: 10.1116/1.590301
  3. K.L. Brower, Semicond. Sci. Technol., 4 (12), 970 (1989). DOI: 10.1088/0268-1242/4/12/002
  4. A. Stesmans, V.V. Afanas'ev, J. Appl. Phys., 83 (5), 2449 (1998). DOI: 10.1063/1.367005
  5. E.H. Poindexter, P.J. Caplan, B.E. Deal, R.R. Razouk, J. Appl. Phys., 52 (2), 879 (1981). DOI: 10.1063/1.328771
  6. K.L. Brower, Phys. Rev. B, 38 (14), 9657 (1988). DOI: 10.1103/PhysRevB.38.9657
  7. L.S. Vlasenko, Appl. Magn. Reson., 47 (7), 813 (2016). DOI: 10.1007/s00723-016-0799-z
  8. H. Saito, S. Hayashi, Y. Kusano, K.M. Itoh, M.P. Vlasenko, L.S. Vlasenko, J. Appl. Phys., 123 (16), 161582 (2018). DOI: 10.1063/1.5010816
  9. M. Morita, T. Ohmi, E. Hasegawa, M. Kawakami, M. Ohwada, J. Appl. Phys., 68 (3), 1272 (1990). DOI: 10.1063/1.347181

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme