Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Эффект трансформации линейной зоны в виде квадрата при еe миграции через пластину кремния ориентации \100\
Министерство образования и науки Российской Федерации, Государственное задание ЮРГПУ(НПИ), Разработка физико-технических основ объемного легирования акцепторной примесью микрообластей кремниевых пластин методом термомиграции жидких зон, FENN-2023-0005
Середин Б.М.
1, Попов В.П.
1, Малибашев А.В.
1
1Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) им. М.И. Платова, Новочеркасск, Россия 
Email: seredinboris@gmail.com
Поступила в редакцию: 15 ноября 2023 г.
В окончательной редакции: 16 декабря 2023 г.
Принята к печати: 16 декабря 2023 г.
Выставление онлайн: 6 марта 2024 г.
Экспериментально обнаружен эффект трансформации линейной зоны в виде квадрата с ориентацией сторон вдоль направлений < 110> при термомиграции через пластину кремния ориентации 100. Эффект проявляется в синхронном сближении сторон квадрата и формировании замкнутого эпитаксиального канала пирамидальной формы. Такая трансформация зоны объясняется асимметрией фронта растворения жидкой зоны относительно заданного градиента температуры, особенностями растворения и кристаллизации в изгибах линейной зоны в углах квадрата. Ключевые слова: термомиграция, градиент температуры, кремний, анизотропия.
- W.G. Pfann, Zone melting, 2nd ed. (Wiley and Sons, N.Y., 1963), p. 113
- В.Н. Лозовский, Л.С. Лунин, В.П. Попов, Зонная перекристаллизация градиентом температуры полупроводниковых материалов (Металлургия, М., 1987), c. 57
- В.Н. Лозовский, В.П. Попов, Кристаллография, 15 (1), 116 (1970)
- H.E. Cline, T.R. Anthony, J. Appl. Phys., 47 (6), 2332 (1976). DOI: 10.1063/1.323009
- B. Lu, G. Gautier, D. Valente, B. Morillon, D. Alquier, Microelectron. Eng., 149, 97 (2016). DOI: 10.1016/J.mee.2015.10.004
- O.S. Polukhin, V.V. Kravchina, Technology and design in electronic equipment, N 1-2, 34 (2023). DOI: 10.15222/TKEA2023.1-2.34
- O.S. Polukhin, V.V. Kravchina, TKEA, N 5-6, 33 (2021). DOI: 10.15222/TKEA2021.5-6.33
- V.V. Kravchina, O.S. Polukhin, Radio electronics, computer science, control, N 3, 16 (2018). DOI: 10.15588/1607-3274-2018-3-2
- А.С. Полухин, Силовая электроника, N 5, 118 (2013)
- R.L. Parker, Solid State Phys., 25, 151 (1970). DOI: 10.1016/s0081-1947(08)60009-0
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
