Вышедшие номера
Фотоприемники глубокого ультрафиолета на основе пленок композита In2O3-Ga2O3
Russian Science Foundation , "Conducting research by scientific groups under the guidance of young scientists” of the Presidential program of research projects implemented by leading scientists, including young scientists, 20-79-10043-P
Алмаев Д.А.1, Алмаев А.В.1,2, Николаев В.И.3,4, Бутенко П.Н.1,3, Щеглов М.П.3, Чикиряка А.В.3, Печников А.И.3
1Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
2ООО "Фокон", Калуга, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
4ООО "Совершенные кристаллы", Санкт-Петербург, Россия
Email: almaev001@mail.ru
Поступила в редакцию: 9 октября 2023 г.
В окончательной редакции: 22 ноября 2023 г.
Принята к печати: 22 ноября 2023 г.
Выставление онлайн: 9 февраля 2024 г.

-2 Исследованы фотоэлектрические характеристики пленок композита In2O3-Ga2O3, выращенных методом хлоридной газофазной эпитаксии на сапфировых подложках. Исследованные пленки представляли собой композит кубических фаз delta-Ga2O3 и c-In2O3. Результаты для композита In2O3-Ga2O3 сопоставлены с полученными для пленок ε(kappa)-Ga2O3 и c-In2O3, выращенных при близких условиях. Пленки композита In2O3-Ga2O3 демонстрируют наибольшую фоточувствительность, быстродействие и низкое базовое сопротивление. Значения квантовой эффективности составило 6.9· 103% при напряженности поля 1 kV/cm, что существенно больше, чем в известной литературе. Предполагается, что высокая фоточувствительность обусловлена генерацией носителей заряда в областях delta-Ga2O3, образованных в пленке c-In2O3 с высокой концентрацией электронов. Ключевые слова: оксид галлия, оксид индия, УФ-фотоприемник, хлоридная газофазная эпитаксия, фотоэлектрические характеристики.