Вышедшие номера
Формирование фазы Nb3Sn путем обработки системы Nb+Sn импульсным электронным пучком
Российский научный фонд, Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований отдельными научными группами, 21-12-00364
Юрьев Ю.Н.1, Юрьева А.В.1, Савельев А.И.1, Воробьев М.С.2, Москвин П.В.2
1Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Томск, Россия
2Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: yurjev@tpu.ru
Поступила в редакцию: 27 сентября 2023 г.
В окончательной редакции: 9 ноября 2023 г.
Принята к печати: 9 ноября 2023 г.
Выставление онлайн: 13 января 2024 г.

Исследована возможность обработки пленок Nb-Sn, осажденных на медную подложку методом магнетронного распыления, импульсным электронным пучком в источнике с плазменным катодом. Электронно-пучковая обработка покрытий приводит к формированию фазы Nb3Sn. Пленки облучались с разной плотностью энергии пучка и длительностью импульса. Исследованы морфология поверхности и фазовый состав облученных пленок. Ключевые слова: магнетронное распыление, пленки Nb3Sn, электронный пучок, плазменный катод, электронно-пучковая обработка.