Отражение ограниченных пучков экстремального ультрафиолетового излучения от многослойных зеркал
Пунегов В.И.
1, Мальков Д.М.1
1Физико-математический институт ФИЦ "Коми научный центр УрО РАН", Сыктывкар, Россия
Email: vpunegov@dm.komisc.ru
Поступила в редакцию: 23 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 4 октября 2023 г.
Принята к печати: 9 октября 2023 г.
Выставление онлайн: 25 декабря 2023 г.
На основе двумерных уравнений дифракции для медленно меняющихся амплитуд исследовано влияние размера пучка на отражение экстремального ультрафиолетового излучения от многослойного зеркала. Рассмотрены граничные условия задачи дифракции в случае геометрической оптики и приближения Френеля. Показаны результаты численного моделирования карт интенсивности отражения в обратном пространстве, а также их qz-сечений в зеркальном направлении. Ключевые слова: многослойное зеркало, пространственно ограниченные пучки экстремального ультрафиолетового излучения, геометрическая оптика, приближение Френеля.
- N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.N. Nechay, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schafers, M.G. Sertsu, A. Sokolov, M.V. Svechnikov, D.A. Tatarsky, Opt. Lett., 42, 5070 (2017). DOI: 10.1364/OL.42.005070
- S.A. Bogachev, N.I. Chkhalo, S.V. Kuzin, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, S.V. Shestov, S.Yu. Zuev, Appl. Opt., 55, 2126 (2016). DOI: 10.1364/AO.99.099999
- А.В. Виноградов, И.В. Кожевников, Тр. ФИАН, 196, 62 (1989). [I.V. Kozhevnikov, A.V. Vinogradov, J. Russ. Laser Res., 16, 343 (1995). DOI: 10.1007/BF02581074]
- V.I. Punegov, S.I. Kolosov, K.M. Pavlov, J. Appl. Cryst., 49, 1190 (2016). DOI: 10.1107/S1600576716008396
- S. Takagi, Acta Cryst., 15, 1311 (1962). DOI: 10.1107/S0365110X62003473
- D. Taupin, Bull. Soc. Franc. Mineral. Crist., 87, 469 (1964)
- V.G. Kohn, I. Snigireva, A. Snigirev, Phys. Status Solidi B, 222, 407 (2000). DOI: 10.1002/1521-3951(200011)222:2<407::AID-PSSB407>3.0.CO;2-X
- В.И. Пунегов, УФН, 185, 449 (2015). DOI: 10.3367/UFNr.0185.201505a.0449 [V.I. Punegov, Phys. Usp., 58, 419 (2015). DOI: 10.3367/UFNr.0185.201505a.0449]
- V.I. Punegov, K.M. Pavlov, A.V. Karpov, N.N. Faleev, J. Appl. Cryst., 50, 1256 (2017). DOI: 10.1107/S1600576717010123
- A. Haase, V. Soltwisch, S. Braun, C. Laubis, F. Scholze, Opt. Express, 25, 15441 (2017). DOI: 10.1364/OE.25.015441
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.