Вакуумный (безгазовый) непрерывный магнетронный разряд с холодным плоским катодом-мишенью
Шандриков М.В.
1, Окс Е.М.
1,2, Оскирко В.О.
1, Черкасов А.А.
11Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
2Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томск, Россия
Email: shandrikov@opee.hcei.tsc.ru, oks@opee.hcei.tsc.ru, oskirkovo@gmail.com, cherkasov@opee.hcei.tsc.ru
Поступила в редакцию: 30 августа 2023 г.
В окончательной редакции: 27 сентября 2023 г.
Принята к печати: 28 сентября 2023 г.
Выставление онлайн: 7 ноября 2023 г.
Реализован непрерывный режим вакуумного (безгазового) магнетронного разряда с холодным плоским катодом-мишенью при остаточном давлении вплоть до 4· 10-3 Pa и токе разряда 8-12 А (120-200 mA/cm2). Приведены результаты исследований масс-зарядового состава ионов плазмы, а также сравнение основных параметров разряда и скорости нанесения покрытий в вакуумном и газовом режимах. Ключевые слова: магнетрон, вакуумный режим, ионный состав, скорость осаждения. DOI: 10.61011/PJTF.2023.22.56594.19716
- L. Hultman, B.O. Johansson, J.E. Sundgren, L.C. Markert, J.E. Greene, Appl. Phys. Lett., 53, 1175 (1988). DOI: 10.1063/1.100014
- А.В. Корнилов, Н.П. Мухин, С.Ф. Миндолин, Фундаментальные исследования, N 4-3, 623 (2013)
- А.С. Джумалиев, Ю.В. Никулин, Ю.А. Филимонов, Радиотехника и электроника, 63 (1), 90 (2018). DOI: 10.7868/S0033849417010132 [A.S. Dzhumaliev, Yu.V. Nikulin, Yu.A. Filimonov, J. Commun. Technol. Electron., 63 (1), 80 (2018). DOI: 10.1134/S1064226918010023]
- E.M. Oks, A. Anders, Rev. Sci. Instrum., 81, 02B306 (2010). DOI: 10.1063/1.3272797
- G.Yu. Yushkov, A. Anders, IEEE Trans. Plasma Sci., 38, 3028 (2010). DOI: 10.1109/TPS.2010.2063041
- W.M. Posadowski, Surf. Coat. Technol., 49, 290 (1991). DOI: 10.1016/0257-8972(91)90071-4
- W.M. Posadowski, Z.J. Radzimski, J. Vac. Sci. Technol. A, 11, 2980 (1993). DOI: 10.1116/1.578679
- M.V. Shandrikov, A.A. Cherkasov, E.M. Oks, AIP Adv., 12, 025017 (2022). DOI: 10.1063/5.0081234
- I.I. Beilis, Y. Koulik, R.L. Boxman, Surf. Coat. Technol., 258, 908 (2014). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2014.07.060
- A. Anders, J. Vac. Sci. Technol. A, 28, 783 (2010). DOI: 10.1116/1.3299267
- M. Rudolph, N. Brenning, M.A. Raadu, H. Hajihoseini, J. Gudmundsson, A. Anders, D. Lundin, Plasma Sources Sci. Technol., 29, 05LT01 (2020). DOI: 10.1088/1361-6595/ab8175
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
