Влияние ионного облучения и стабилизирующего отжига на критические токи тонкопленочного сверхпроводящего NbN
Приходько К.Е.
1,2, Голубев Г.Ю.
11Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: prihodko_ke@nrcki.ru
Поступила в редакцию: 5 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 19 июня 2023 г.
Принята к печати: 28 июня 2023 г.
Выставление онлайн: 3 августа 2023 г.
Рассмотрено влияние смешанного ионного облучения на критические токи тонкопленочного нитрида ниобия (NbN). Получены вольт-амперные характеристики образцов размером 20x 20 μm (толщина 5.5 nm) после облучения смешанным ионным пучком с энергией 1 keV, состоящим из протонов с 1% кислорода, до различных флюенсов. Оценено влияние облучения и стабилизирующего отжига при 200oC в течение часа на критические токи сверхпроводящего перехода. Ключевые слова: нитрид ниобия, ионное облучение, сверхпроводники, тонкие пленки.
- D.S. Holmes, A.L. Ripple, M.A. Manheimer, IEEE Trans. Appl. Supercond., 23 (3), 1701610 (2013). DOI: 10.1109/tasc.2013.2244634
- Б.А. Гурович, К.Е. Приходько, Л.В. Кутузов, Б.В. Гончаров, Д.А. Комаров, Е.М. Малиева, ФТТ, 64 (10), 1390 (2022). DOI: 10.21883/FTT.2022.10.53079.47HH [B.A. Gurovich, K.E. Prikhodko, L.V. Kutuzov, B.V. Goncharov, D.A. Komarov, E.M. Malieva, Phys. Solid State, 64 (10), 1373 (2022). DOI: 10.21883/PSS.2022.10.54221.47HH]
- B.A. Gurovich, K.E. Prikhodko, M.A. Tarkhov, A.G. Domantovsky, D.A. Komarov, B.V. Goncharov, E.A. Kuleshova, Micro Nanosyst., 7 (3), 172 (2015). DOI: 10.2174/1876402908666151228233002
- C.H. Arrington III, B.S. Deaver, Jr., Appl. Phys. Lett., 26 (4), 204 (1975). DOI: 10.1063/1.88116
- R.K. Kirschman, J.A. Hutchby, J.W. Burgess, R.P. McNamara, H.A. Notarys, IEEE Trans. Mag., MAG-13 (1), 731 (1977). DOI: 10.1109/TMAG.1977.1059326
- A. Korneev, Y. Korneeva, I. Florya, B. Voronov, G. Goltsman, Phys. Proc., 36, 72 (2012). DOI: 10.1016/j.phpro.2012.06.215
- J.R. Gavaler, J.K. Hulm, M.A. Janocko, C.K. Jones, J. Vac. Sci. Technol., 6 (1), 177 (1969). DOI: 10.1116/1.1492653
- G.N. Goltsman, K. Smirnov, P. Kouminov, B. Voronov, N. Kaurova, V. Drakinsky, J. Zang, A. Verevkin, R. Sobolewski, IEEE Trans. Appl. Supercond., 13 (2), 192 (2003). DOI: 10.1109/TASC.2003.813678
- K. Prikhodko, B. Gurovich, M. Dement'eva, L. Kutuzov, D. Komarov, IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng., 130, 012058 (2016). DOI: 10.1088/1757-899X/130/1/012058
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.