Фазовые превращения в слоях оксида галлия
Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation, state order of IPMe RAS, FFNF-2021-0001
Осипов А.В.
1, Шарофидинов Ш.Ш.
2, Кремлева А.В.
3, Осипова Е.В.
1, Смирнов А.М.
3, Кукушкин С.А.
11Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: andrey.v.osipov@gmail.com
Поступила в редакцию: 22 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 22 июня 2023 г.
Принята к печати: 24 июня 2023 г.
Выставление онлайн: 3 августа 2023 г.
Методом хлоридной эпитаксии из пара (HVPE) на подложках сапфира выращены три основные кристаллические модификации Ga2O3: α-фаза, ε-фаза и β-фаза. Установлены температуры подложек и величины потоков прекурсоров, при которых возможно получать только α-фазу, только ε-фазу или только β-фазу без смеси этих фаз. Показано, что при отжиге метастабильная ε-фаза легко переходит в стабильную β-фазу, тогда как метастабильная α-фаза при отжиге переходит в промежуточную аморфную фазу, после чего отслаивается и разрушается. Данный результат объясняется тем, что превращение из α- в β-фазу сопровождается слишком большим уменьшением плотности (~ 10%), приводящим к огромным упругим напряжениям и, как следствие, увеличению высоты барьера фазового перехода. Ключевые слова: реконструктивные фазовые переходы, оксид галлия, полиморфы, рамановский спектр.
- P. Toledano, V. Dmitriev, Reconstructive phase transitions in crystals and quasicrystals (World Scientific, Singapore, 1996)
- Ю.М. Гуфан, Структурные фазовые переходы (Наука, М., 1982)
- V.I. Kalikmanov, Nucleation theory (Springer, Dordrecht, 2013)
- D. Kashchiev, Nucleation. Basic theory with applications (Butterworth-Heinemann, Oxford, 2003)
- V.V. Slezov, Kinetics of first-order phase transitions (Wiley-VC, Weinheim, 2009)
- V.G. Dubrovskii, Nucleation theory and growth of nanostructures (Springer, Berlin, 2014)
- l.V. Markov, Crystal growth for beginners (World Scientific, Singapore, 1995)
- V.N. Detsik, S.A. Kukushkin, A.V. Osipov, E.Yu. Kaptelov, I.P. Pronin, J. Cryst. Growth, 187 (3-4), 474 (1998). DOI: 10.1016/S0022-0248(97)00594-0
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, ФТТ, 61 (3), 422 (2019). DOI: 10.21883/PJTF.2023.17.56078.19632 [S.A. Kukushkin, A.V. Osipov, Phys. Solid State, 61 (3), 288 (2019). DOI: 10.1134/S1063783419030181]
- S.I. Stepanov, V. Nikolaev, V.E. Bougrov, A. Romanov, Rev. Adv. Mater. Sci., 44, 63 (2016). https://www.ipme.ru/e-journals/RAMS/no_14416/06_14416_stepanov.pdf
- N.S. Jamwal, A. Kiani, Nanomaterials, 12 (12), 2061 (2022). DOI: 10.3390/nano12122061
- S.J. Pearton, J. Yang, P.H. Cary, F. Ren, J. Kim, M.J. Tadjer, M.A. Mastro, Appl. Phys. Rev., 5 (1), 011301 (2018). DOI: 10.1063/1.5006941
- A.V. Osipov, Sh.Sh. Sharofidinov, E.V. Osipova, A.V. Kandakov, A.Y. Ivanov, S.A. Kukushkin, Coatings, 12 (12), 1802 (2022). DOI: 10.3390/coatings12121802
- A.V. Osipov, A.S. Grashchenko, S.A. Kukushkin, V.I. Nikolaev, E.V. Osipova, A.I. Pechnikov, I.P. Soshnikov, Continuum Mech. Thermodyn., 30 (5), 1059 (2018). DOI: 10.1007/s00161-018-0662-6
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.