Локальное лазерное окисление фотонных кристаллов на основе пористого кремния
Российский научный фонд, 21-72-10103
Кузнецов Л.Г.1, Пышков Н.И.1, Свяховский С.Е.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: sse@shg.ru
Поступила в редакцию: 27 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 10 июня 2023 г.
Принята к печати: 10 июня 2023 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2023 г.
Экспериментально и теоретически исследован процесс термического окисления фотонных кристаллов на основе пористого кремния при их облучении импульсным волоконным лазером. При помощи нестационарного уравнения теплопроводности вычислены поглощаемая мощность лазерного излучения в пористом кремнии и максимальная температура нагрева. Степень окисления кремния оценена экспериментально путем измерения спектрального сдвига кривой отражения фотонных кристаллов. Показано, что при помощи лазерного облучения можно контролируемо смещать фотонную запрещенную зону фотонных кристаллов из пористого кремния. Ключевые слова: пористый кремний, фотонные кристаллы, локальное лазерное окисление, лазерная обработка поверхности.
- A.A. Leonardi, M.J.L. Faro, A. Irrera, Anal. Chim. Acta, 1160, 338393 (2021). DOI: 10.1016/j.aca.2021.338393
- S.E. Svyakhovskiy, A.I. Maydykovsky, T.V. Murzina, J. Appl. Phys., 112 (1), 013106 (2012). DOI: 10.1063/1.4732087
- A.M. Rossi, G. Amato, V. Camarchia, L. Boarino, S. Borini, Appl. Phys. Lett., 78, 3003 (2001). DOI: 10.1063/1.1370536
- X. Li, Y. Guan, Nanotechnol. Precis. Eng., 3, 105 (2020). DOI: 10.1016/j.npe.2020.08.001
- A.S. Fedorov, A.S. Teplinskaia, Materials, 15 (23), 8678 (2022). DOI: 10.3390/ma15238678
- J. de Boor, D.S. Kim, X. Ao, D. Hagen, A. Cojocaru, H. Foll, V. Schmidt, Europhys. Lett., 96 (1), 16001 (2011). DOI: 10.1209/0295-5075/96/16001
- A. Bobrovsky, S. Svyakhovskiy, I. Roslyakov, A. Piryazev, D.A. Ivanov, V. Shibaev, M. Cigl, V. Hamplova, A. Bubnov, ACS Appl. Polym. Mater., 4 (10), 7387 (2022). DOI: 10.1021/acsapm.2c01149
- A. Luce, A. Mahdavi, F. Marquardt, H. Wankerl, J. Opt. Soc. Am. A, 39 (6), 1007 (2022). DOI: 10.1364/JOSAA.450928
- D.A.G. Bruggeman, Ann. Phys., 416 (7), 636 (1935). DOI: 10.1002/andp.19354160705
- H.Z. Massoud, J. Electrochem. Soc., 132 (11), 2685 (1985). DOI: 10.1149/1.jjj2113648
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.