Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2023, выпуск 10 » Статья стр. 39
<<<>>>
Моделирование распыления многослойных подложек фокусированным ионным пучком
DOI: 10.21883/PJTF.2023.10.55433.19533
Переводная версия: 10.21883/TPL.2023.05.56035.19533
Российский научный фонд, 21-79-00197
Румянцев А.В.1, Боргардт Н.И.1, Волков Р.Л.1
1Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
Email: lemi@miee.ru
Поступила в редакцию: 21 февраля 2023 г.
В окончательной редакции: 25 марта 2023 г.
Принята к печати: 27 марта 2023 г.
Выставление онлайн: 18 апреля 2023 г.
PDF версия
Метод функций уровня обобщен для моделирования эволюции поверхности многослойных подложек при воздействии фокусированного ионного пучка. Для корректного описания такого воздействия при проведении расчетов принимались во внимание угловые зависимости коэффициентов распыления, плотности облучаемых материалов и учитывалось, что вылет распыленных атомов может происходить из разных слоев подложки. Сравнением результатов расчетов с экспериментальными данными для тестовых углублений, изготовленных в двухслойной подложке диоксид кремния-кристаллический кремний, показано, что развитый метод моделирования позволяет с хорошей точностью предсказывать форму структур, создаваемых фокусированным ионным пучком. Ключевые слова: фокусированный ионный пучок, распыление, метод функций уровня.
  1. A.C. Madison, J.S. Villarrubia, K.T. Liao, C.R. Copeland, J. Schumacher, K. Siebein, B.R. Ilic, J.A. Liddle, S.M. Stavis, Adv. Funct. Mater., 32 (38), 2111840 (2022). DOI: 10.1002/adfm.202111840
  2. S. Herschbein, S. Tan, R. Livengood, M. Wong, in Proc. of the ISTFA-2022 (Pasadena, California, USA, 2022), p. i1-i69. DOI: 10.31399/asm.cp.istfa2022tpi1
  3. А.С. Паюсов, М.И. Митрофанов, Г.О. Корнышов, А.А. Серин, Г.В. Вознюк, М.М. Кулагина, В.П. Евтихиев, Н.Ю. Гордеев, М.В. Максимов, S. Breuer, Письма в ЖТФ, 47 (24), 51 (2021). DOI: 10.21883/PJTF.2021.24.51801.18980 [A.S. Payusov, M.I. Mitrofanov, G.O. Kornyshov, A.A. Serin, G.V. Voznyuk, M.M. Kulagina, V.P. Evtikhiev, N.Yu. Gordeev, M.V. Maximov, S. Breuer, Tech. Phys. Lett., 48 (15), 87 (2022). DOI: 10.21883/TPL.2022.15.54275.18980]
  4. H.B. Kim, G. Hobler, A. Steiger, A. Lugstein, E. Bertagnolli, Nanotechnology, 18 (26), 265307 (2007). DOI: 10.1088/0957-4484/18/26/265307
  5. Н.И. Боргардт, Р.Л. Волков, А.В. Румянцев, Ю.А. Чаплыгин, Письма в ЖТФ, 41 (12), 97 (2015). [N.I. Borgardt, R.L. Volkov, A.V. Rumyantsev, Yu.A. Chaplygin, Tech. Phys. Lett., 41 (6), 610 (2015). DOI: 10.1134/S106378501506019X]
  6. A.V. Rumyantsev, N.I. Borgardt, R.L. Volkov, Yu.A. Chaplygin, Vacuum, 202, 111128 (2022). DOI: 10.1016/j.vacuum.2022.111128
  7. A.A. Tseng, I.A. Insua, J.S. Park, C.D. Chen, J. Micromech. Microeng., 15 (1), 20 (2004). DOI: 10.1088/0960-1317/15/1/004
  8. W. Boxleitner, G. Hobler, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 180 (1-4), 125 (2001). DOI: 10.1016/S0168-583X(01)00406-2
  9. F. Gibou, R. Fedkiw, S. Osher, J. Comput. Phys., 353, 82 (2018). DOI: 10.1016/j.jcp.2017.10.006
  10. N.I. Borgardt, A.V. Rumyantsev, J. Vac. Sci. Technol. B, 34 (6), 061803 (2016). DOI: 10.1116/1.4967249
  11. P. Manstetten, J. Weinbub, A. Hossinger, S. Selberherr, Proc. Comput. Sci., 108, 245 (2017). DOI: 10.1016/j.procs.2017.05.067
  12. L.A. Giannuzzi, F.A. Stevie, Micron, 30 (3), 197 (1999). DOI: 10.1016/S0968-4328(99)00005-0
  13. В.И. Бачурин, И.В. Журавлев, Д.Э. Пухов, А.С. Рудый, С.Г. Симакин, М.А. Смирнова, А.Б. Чурилов, Поверхность, N 8, 34 (2020). DOI: 10.31857/S102809602008004X [V.I. Bachurin, I.V. Zhuravlev, D.E. Pukhov, A.S. Rudy, S.G. Simakin, M.A. Smirnova, A.B. Churilov, J. Surf. Investig., 14 (4), 784 (2020). DOI: 10.1134/S1027451020040229]
  14. L. Frey, C. Lehrer, H. Ryssel, Appl. Phys. A, 76 (7), 1017 (2003). DOI: 10.1007/s00339-002-1943-1

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme