Механизм ионизации пучковой плазмы, генерируемой электронным пучком в среднем вакууме
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Конкурс 2021 года «Создание новых лабораторий, в том числе под руководством молодых перспективных исследователей» национального проекта «Наука и университеты», FEWM-2021-0013
Тюньков А.В.
1, Андронов А.А.
1, Юшков Ю.Г.
1, Золотухин Д.Б.
11Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томск, Россия
Email: ZolotukhinDen@gmail.com
Поступила в редакцию: 27 февраля 2023 г.
В окончательной редакции: 14 марта 2023 г.
Принята к печати: 14 марта 2023 г.
Выставление онлайн: 18 апреля 2023 г.
Представлены результаты измерений ионного состава плазмы, генерируемой ускоренным электронным пучком в области давлений среднего вакуума (форвакуума). Приведены расчеты вклада в механизм ионизации плазменных электронов и электронов пучка. Сопоставление расчетных данных с экспериментальными привело к выводу об определяющем вкладе электронов пучка в процесс ионизации. Ключевые слова: пучковая плазма, форвакуум, электронный пучок, плазменный источник электронов.
- D.B. Zolotukhin, V.A. Burdovitsin, E.M. Oks, A.V. Tyunkov, Yu.G. Yushkov, Phys. Plasmas, 26 (5), 053512 (2019). DOI: 10.1063/1.5095165
- C. Muratore, D. Leonhardt, S.G. Walton, D.D. Blackwell, R.F. Fernsler, R.A. Meger, Surf. Coat. Technol., 191 (2-3), 255 (2005). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2004.02.026
- S.G. Walton, D. Leonhardt, D.D. Blackwell, R.F. Fernsler, D.P. Murphy, R.A. Meger, J. Vac. Sci. Technol. A, 19 (4), 1325 (2001). DOI: 10.1116/1.1345901
- A.V. Tyunkov, D.B. Zolotukhin, Y.G. Yushkov, E.V. Yakovlev, Vacuum, 180, 109573 (2020). DOI: 10.1016/j.vacuum.2020.109573
- A.V. Tyunkov, D.A. Golosov, D.B. Zolotukhin, A.V. Nikonenko, E.M. Oks, Y.G. Yushkov, E.V. Yakovlev, Surf. Coat. Technol., 383 125241 (2020). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2019.125241
- Y.G. Yushkov, E.M. Oks, A.V. Tyunkov, D.B. Zolotukhin, Ceram. Int., 45 (8), 9782 (2019). DOI: 10.1016/j.ceramint.2019.02.014
- Y.G. Yushkov, E.M. Oks, A.V. Tyunkov, D.B. Zolotukhin, Coatings, 12 (2), 130 (2022). DOI: 10.3390/coatings12020130
- A.V. Tyunkov, V.A. Burdovitsin, E.M. Oks, Yu.G. Yushkov, D.B. Zolotukhin, Vacuum, 163, 31 (2019). DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.02.010
- С.М. Левитский, Сборник задач и расчетов по физической электронике (Изд-во Киев. ун-та, Киев, 1964)
- W. Lotz, Z. Phys., 206 (2), 205 (1967).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.