Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2023, выпуск 8 » Статья стр. 25
<<<>>>
Получение цветного наноструктурированного слоя аморфного кремния при травлении в хлорсодержащей плазме
DOI: 10.21883/PJTF.2023.08.55133.19376
Переводная версия: 10.21883/TPL.2023.04.55882.19376
Амиров И.И.1, Куприянов А.Н.1, Изюмов М.О.1, Мазалецкий Л.С.1
1Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН, Ярославль, Россия
Email: ildamirov@yandex.ru
Поступила в редакцию: 28 сентября 2022 г.
В окончательной редакции: 10 февраля 2023 г.
Принята к печати: 20 февраля 2023 г.
Выставление онлайн: 18 марта 2023 г.
PDF версия
Показано, что в режиме самоформирования в плазменном процессе травления аморфного кремния структур (α-Si)/SiO2/Si и (α-Si)/Pt/SiO2/Si в хлорсодержащей плазме (Cl2/Ar) можно получить разноцветную поверхность из наноконусных и нанопроволочных структур α-Si. Обсуждается механизм образования таких структур при плазмохимическом травлении. Приведены спектры отражения цветных пленок. Яркие цвета поверхности обусловлены резонансным отражением света в слоях наноконусных и нанопроволочных структур α-Si с подслоем α-Si нанометровой толщины. Ключевые слова: аморфный кремний, хлорсодержащая плазма, травление, интерферограмма, наноконусные структуры.
  1. S. Chang, G.J. Lee, Y.M. Song, Micromachines, 11 (8), 726 (2020). DOI: 10.3390/mi11080726
  2. X. Liu, P.R. Coxon, M. Peters, B. Hoex, J.M. Cole, D.J. Fray, Energy Environ. Sci., 7 (10), 3223 (2014). DOI: 10.1039/C4EE01152J
  3. M.A. Saatlu, M. Procek, C. Mattsson, G. Thungstrom, H.-E. Nilsson, W. Xiong, B. Xu, Y. Li, H.H. Radamson, Nanomaterials, 10 (11), 2215 (2020). DOI: 10.3390/nano10112215
  4. H. Park, Y. Dan, K. Seo, Y.J. Yu, P.K. Duane, M. Wober, K.B. Crozier, Nano Lett., 14 (4), 1804 (2014). DOI: 10.1021/nl404379w
  5. J.J. Cadusch, J. Meng, B.J. Craig, V.R. Shrestha, K.B. Crozier, Nanophotonics, 9 (10), 3197 (2020). DOI: 10.1515/nanoph-2020-0114
  6. J. Zhu, Z. Yu, G.F. Burkhard, C.-M. Hsu, S.T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, Y. Cui, Nano Lett., 9 (1), 279 (2009). DOI: 10.1021/nl802886y
  7. K. Seo, M. Wober, P. Steinvurzel, E. Schonbrun, Y. Dan, T. Ellenbogen, K.B. Crozier, Nano Lett., 11 (4), 1851 (2011). DOI: 10.1021/nl200201b
  8. Z. Wang, R.J. Zhang, S.Y. Wang, M. Lu, X. Chen, Y.X. Zheng, L.Y. Chen, Z. Ye, C.Z. Wang, K.M. Ho, Sci. Rep., 5, 7810 (2015). DOI: 10.1038/srep07810
  9. Л.С. Басалаева, А.В. Царев, К.В. Аникин, С.Л. Вебер, Н.В. Крыжановская, Ю.В. Настаушев, ФТП, 56 (3), 340 (2022). DOI: 10.21883/FTP.2022.03.52121.9761 [L.S. Basalaeva, A.V. Tsarev, K.V. Anikin, S.L. Veber, N.V. Kryzhanovskaya, Yu.V. Nastaushev, Semiconductors, 56 (3), 227 (2022). DOI: 10.21883/SC.2022.03.53067.9761]
  10. I.I. Amirov, N.V. Alov, High Energy Chem., 42 (2), 132 (2008). DOI: 10.1134/S0018143908020136
  11. Y. Chen, Z. Xu, M.R. Gartia, D. Whitlock, Y. Lian, G.L. Liu, ACS Nano, 5 (10), 8002 (2011). DOI: 10.1021/nn2024754
  12. Z. Huang, H. Fang, J. Zhu, Adv. Mater., 19 (5), 744 (2007). DOI: 10.1002/adma.200600892
  13. I.I. Amirov, M.O. Izyumov, V.V. Naumov, E.S. Gorlachev, J. Phys. D: Appl. Phys., 54 (6), 065204 (2021). DOI: 10.1088/1361-6463/abc3ed
  14. L. Li, J. Niu, X. Shang, S. Chen, C. Lu, Y. Zhang, L. Shi, ACS Appl. Mater. Interfaces, 13 (3), 4364 (2021). DOI: 10.1021/acsami.0c19126

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme