1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
2Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Москва, Россия
3Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники имени В.Г. Мокерова РАН, Москва, Россия
4Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Национальный исследовательский университет), Москва, Россия
5МИРЭА - Российский технологический университет, Москва, Россия
6Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия