Вышедшие номера
Особенности фотоэлектронных спектров Ge, имплантированного ионами Na+
Абраева С.Т.1, Ташмухамедова Д.А.1, Юсупжанова М.Б.1, Умирзаков Б.Е. 1
1Ташкентский государственный технический университет им. И.А. Каримова, Ташкент, Узбекистан
Email: ftmet@mail.ru
Поступила в редакцию: 18 июля 2022 г.
В окончательной редакции: 5 сентября 2022 г.
Принята к печати: 2 ноября 2022 г.
Выставление онлайн: 10 декабря 2022 г.

С использованием методов оже-электронной и фотоэлектронной спектроскопии и спектроскопии поглощения света изучены состав, плотности состояния электронов валентной зоны и параметры энергетических зон Ge (111), имплантированного ионами Na+ c энергией E0=0.5 keV при дозе насыщения Dsat=6· 1016 cm-2, и тонкого слоя NaGe2, полученного прогревом ионно-имплантированного Ge. Показано, что в спектре валентных электронов Ge после ионной имплантации вблизи дна зоны проводимости появляется узкая зона (~ 0.2 eV) n-типа, что объясняется наличием в ионно-легированном слое большого количества несвязанных атомов Na. Впервые в результате прогрева ионно-имплантированного Ge получены нанопленки NaGe2 с шириной запрещенной зоны ~ 0.45 eV. Ключевые слова: наноструктура, фотоэлектроны, оже-электронная спектроскопия, спектр поглощения, гибридизированнные состояния, плотности состояния электронов, ионная имплантация.