Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование прочности тонких пластин кремния в зависимости от методов обработки их поверхности при утонении
Переводная версия: 10.21883/TPL.2022.09.55077.19244 
Козлов В.А.1,2, Николаев В.И.1, Шпейзман В.В.1, Тимашов Р.Б.1, Поздняков А.О.1, Степанов С.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
2AO "ПК "ФИД-Техника", Санкт-Петербург, Россия
2AO "ПК "ФИД-Техника", Санкт-Петербург, Россия
Email: shpeizm.v@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 4 мая 2022 г.
В окончательной редакции: 7 июля 2022 г.
Принята к печати: 18 июля 2022 г.
Выставление онлайн: 11 августа 2022 г.
Исследована механическая прочность кремниевых пластин толщиной 100 μm. Нагружение пластин проводилось методом "кольцо-в-кольцо", величина напряжений и прогиба под малым кольцом определялась путем конечно-элементного моделирования. Справедливость расчетной модели проверялась по сравнению зависимостей прогиба под малым кольцом от нагрузки, полученных в эксперименте и при моделировании. Показана зависимость прочности от способов получения и обработки пластин, а также ее связь с характеристиками шероховатости поверхности. Ключевые слова: кремний, прочность, химико-механическая обработка, шероховатость поверхности.
- F. Kaule, B. Kohler, J. Hirsch, S. Schoenfelder, D. Lausch, Solar Energy Mater. Solar Cells, 185, 511 (2018). DOI: 10.1016/j.solmat.2018.05.057
- H. Sekhar, T. Fukuda, K. Tanahashi, H. Takato, H. Ono, Y. Sampei, T. Kobayashi, Mater. Sci. Semicond. Process., 119, 105209 (2020). DOI: 10.1016/j.mssp.2020.105209
- J.-H. Woo, Y.-Ch. Kim, S.-H. Kim, J. Jang, H.N. Han, K.J. Choi, I. Kim, J.-Y. Kim, Scripta Mater., 140, 1 (2017). DOI: 10.1016/j.scriptamat.2017.06.047
- S. Gouttebroze, H.I. Lange, X. Ma, R. Glockner, B. Emamifard, M. Syvertsen, M. Vardavoulias, A. Ulyashin, Phys. Status Solidi A, 210, 777 (2013). DOI: 10.1002/pssa.201300003
- V.A. Popovich, W. Geerstma, M. Janssen, I.J. Bennett, I.M. Richardson, in EPD Congress 2015, ed. by J. Yurko, A. Allanore, L. Bartlett, J. Lee, L. Zhang, G. Tranell, Yu. Meteleva-Fischer, S. Ikhmayies, A.S. Budiman, P. Tripathy, G. Fredrickson (The Minerals, Metals \& Materials Society, 2015), p. 241. DOI: 10.1002/9781119093503.ch28
- В.В. Шпейзман, В.И. Николаев, А.О. Поздняков, А.В. Бобыль, Р.Б. Тимашов, А.И. Аверкин, С.Е. Никитин, О.И. Коньков, Г.Г. Шелопин, Е.И. Теруков, А.В. Нащекин, ЖТФ, 90 (7), 1168 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2020.07.49452.380-19 [V.V. Shpeizman, V.I. Nikolaev, A.O. Pozdnyakov, A.V. Bobyl', R.B. Timashov, A.I. Averkin, S.E. Nikitin, O.I. Kon'kov, G.G. Shelopin, E.I. Terukov, A.V. Nashchekin, Tech. Phys., 65, 1123 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220070191]
- G. Rozgonyi, K. Youssef, P. Kulshreshtha, M. Shi, E. Good, Solid State Phenom., 178-179, 79 (2011). DOI: 10.4028/www.scientific.net/SSP.178-179.79
- A.M. Gabor, R. Janoch, A. Anselmo, J.L. Lincoln, H. Seigneur, Ch. Honeker, in 2016 IEEE 43rd Photovoltaic Specialists Conf. (PVSC) (IEEE, 2016), p. 3574
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
