Вышедшие номера
Газочувствительные свойства пленок твердого раствора In2O3-Ga2O3
Russian science foundation, 20-79-10043
Николаев В.И.1,2, Алмаев А.В.3,4, Кушнарев Б.О.3, Печников А.И.1,2, Степанов С.И.1,2, Чикиряка А.В.1, Тимашов Р.Б.1, Щеглов М.П.1, Бутенко П.Н.1,3, Черников Е.В.3,4
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2ООО "Совершенные кристаллы", Санкт-Петербург, Россия
3Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
4ООО "Фокон", Калуга, Россия
Email: nkvlad@inbox.ru
Поступила в редакцию: 1 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 18 мая 2022 г.
Принята к печати: 6 июня 2022 г.
Выставление онлайн: 26 июня 2022 г.

Исследовано влияние состава газовой среды на электропроводящие свойства пленок In2O3-Ga2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 100-550oC пленки In2O3-Ga2O3 проявляют высокую чувствительность к H2, NH3 и CO, характеризуются высоким быстродействием и низким базовым сопротивлением. Предложен качественный механизм чувствительности пленок In2O3-Ga2O3 к газам. Ключевые слова: In2O3-Ga2O3, хлоридная газофазная эпитаксия, газовая чувствительность.