1"НИИ "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха", Москва, Россия
2Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
3Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
4Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
5Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
6Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники имени В.Г. Мокерова РАН, Москва, Россия
Email: ushakovdv@bsu.by, afonenko@bsu.by, Ziko27@yandex.ru, khabibullin@isvch.ru, s_s_e_r_p@mail.ru