Вознюк Г.В.1,2, Григоренко И.Н.1,3, Митрофанов М.И.1,2,4, Николаев В.В.1, Евтихиев В.П.1,2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
4НТЦ микроэлектроники РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: glebufa0@gmail.com
Выставление онлайн: 30 января 2022 г.
Продемонстрирована технология создания текстурированных поверхностей методом ионно-лучевого травления сфокусированным пучком на подложках GaAs (100). Показана возможность гибкого управления формой и профилем формируемых субмикронных элементов текстурированных сред, что впоследствии позволит создать текстурированные поверхности практически любой сложности для реализации поверхностного вывода излучения из волновода. Разработаны оригинальные литографические шаблоны и проведена трехмерная литография. Контроль сформированных литографических рисунков осуществлялся методами оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии. Ключевые слова: ионно-лучевое травление, метаповерхность, текстурированная поверхность, литография, поверхностный вывод излучения.
- D. Popa, F. Udrea, Sensors, 19, 2076 (2019). DOI: 10.3390/s19092076
- R. Szedlak, C. Schwarzer, T. Zederbauer, H. Detz, A.M. Andrews, W. Schrenk, W. Strasser, Appl. Phys. Lett., 104, 151105 (2014). DOI: 10.1063/1.4871520
- R. Szedlak, C. Schwarzer, T. Zederbauer, H. Detz, A.M. Andrews, W. Schrenk, W. Strasser, Opt. Express, 22, 15829 (2014). DOI: 10.1364/OE.22.015829
- J. Semmel, L. Nahle, S. Hofling, A. Forchel, Appl. Phys. Lett., 91, 071104 (2007). DOI: 10.1063/1.2771054
- A. Deinega, I. Valuev, B. Potapkin, Yu. Lozovik, J. Opt. Soc. Am. A, 28, 770 (2011). DOI: 10.1364/JOSAA.28.000770
- J.A. Dobrowolski, D. Poitras, P. Ma, H. Vakil, M. Acree, Appl. Opt., 41, 3075 (2002). DOI: 10.1364/AO.41.003075
- J. Gallant, M.A. Kaliteevski, D. Wood, M.C. Petty, R.A. Abram, S. Brand, G.P. Swift, D.A. Zeze, J.M. Chamberlain, Appl. Phys. Lett., 91, 161115 (2007). DOI: 10.1063/1.2800381
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
