Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Изучение процесса газофазного осаждения Ga2O3 из триметилгаллия и кислорода в широком интервале температур
Переводная версия: 10.21883/TPL.2022.02.53585.19081 
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), БРИКС_т, 19-52-80033
National Science Foundation of China, 51961145110
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
2НТЦ микроэлектроники РАН, Санкт-Петербург, Россия
3OOO "Софт-Импакт", Санкт-Петербург, Россия
4School of Microelectronics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui, China
2НТЦ микроэлектроники РАН, Санкт-Петербург, Россия
3OOO "Софт-Импакт", Санкт-Петербург, Россия
4School of Microelectronics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui, China
Email: lundin.vpegroup@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 17 ноября 2021 г.
В окончательной редакции: 24 ноября 2021 г.
Принята к печати: 24 ноября 2021 г.
Выставление онлайн: 18 декабря 2021 г.
Проведено исследование газофазного осаждения Ga2O3 из триметилгаллия и кислорода в широком интервале температур. Показано, что зависимость скорости осаждения Ga2O3 от температуры близка к зависимости для индивидуального пиролиза триметилгаллия в азоте. Кинетически лимитированный интервал этих процессов соответствует температуре 550-700oC, что на 150oC выше, чем для осаждения GaN в том же реакторе. Ключевые слова: оксид галлия, МОС-гидридная эпитаксия.
- S.I. Stepanov, V.I. Nikolaev, V.E. Bougrov, A.E. Romanov, Rev. Adv. Mater. Sci., 44, 63 (2016). https://www.ipme.ru/e-journals/ RAMS/no\_14416/06\_14416\_stepanov.pdf
- S.J. Pearton, J. Yang, P.H. Cary, F. Ren, J. Kim, M.J. Tadjer, M.A. Mastro, Appl. Phys. Rev., 5, 011301 (2018). DOI: 10.1063/1.5006941
- Yu.A. Alexandrov, N.N. Vyshinskii, V.N. Kokorev, V.A. Alferov, N.V. Chikinova, G.I. Makin, J. Organomet. Chem., 332, 259 (1987). DOI: 10.1016/0022-328X(87)85093-3
- S. Yamashita, K. Watanuki, H. Ishii, Y. Shiba, M. Kitano, Y. Shirai, Sh. Sugawa, T. Ohmi, J. Electrochem. Soc., 158, H93 (2011). DOI: 10.1149/1.3517080
- M.V. Bogdanov, A.V. Lobanova, R.A. Talalaev, A. Galyukov, F. Alema, B. Hertog, A. Osinsky, in: ACGCE-21/OMVPE-18 Conf. (Santa Fe, New Mexico, USA, 2017), submission N 471
- A. Masunov, E. Wait, S.S. Vasu, J. Phys. Chem. A, 121, 5681 (2017). DOI: 10.1021/acs.jpca.7b04897
- H.-T. Lam, J.M. Vohs, Surf. Sci., 426, 199 (1999). DOI: 0.1016/S0039-6028(99)00291-5
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
